Главное меню
Главная О сайте Добавить материалы на сайт Поиск по сайту Карта книг Карта сайта
Книги
Аналитическая химия Ароматерапия Биотехнология Биохимия Высокомолекулярная химия Геохимия Гидрохимия Древесина и продукты ее переработки Другое Журналы История химии Каталитическая химия Квантовая химия Лабораторная техника Лекарственные средства Металлургия Молекулярная химия Неорганическая химия Органическая химия Органические синтезы Парфюмерия Пищевые производства Промышленные производства Резиновое и каучуковое производство Синтез органики Справочники Токсикология Фармацевтика Физическая химия Химия материалов Хроматография Экологическая химия Эксперементальная химия Электрохимия Энергетическая химия
Новые книги
Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 2" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 1" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 12" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 11" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 10" (Журналы)
Книги по химии
booksonchemistry.com -> Добавить материалы на сайт -> Аналитическая химия -> Гоулдстейн Дж. -> "Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Книга 1" -> 15

Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Книга 1 - Гоулдстейн Дж.

Гоулдстейн Дж., Ньюбери Д., Эчлин П., Джой Д., Фиори Ч., Лифшин Э. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Книга 1 — М.: Мир, 1984. — 303 c.
Скачать (прямая ссылка): rastelektrmicroanaliz1984.djvu
Предыдущая << 1 .. 9 10 11 12 13 14 < 15 > 16 17 18 19 20 21 .. 90 >> Следующая


P = P0 COS ф.

(3.20)

W ~ !/Р^соэф.

(3.21) Взаимодействие электронного пучка с Ьбразцом

9 = O0

51

і 0 = 80°

0,8

0,6 а

Hv чок

0,4

0,2

0

ц/ср

Отражающая мишень

Рис. 3.17. Сравнение углового распределения отраженных электронов для углов наклона образца 9 = 0° и 9 = = 80°. При больших углах наклона распределение имеет резкий максимум в направлении прямого рассеяния (а). Схематическая иллюстрация направленности максимума отражения в сяльно наклоненных образцах (б).

3.4.5. Распределение по энергиям

По мере того как электроны пучка движутся внутри образца, различные процессы неупругого рассеяния приводят к передаче энергии атомам и электронам твердого тела и уменьшению энергии электронов пучка. Типичные значения скоростей потери энергии, вычисленные на основе соотношения Бете (3.5), составляют по порядку величины 10 эВ/нм и зависят от энергии электрона (рис. 3.18). Электроны пучка, которые вылетают с поверхности образца в качестве отраженных электронов, выходят с меньшей энергией из-за прохождения некоторого расстояния внутри твердого тела. Графики распределения по энергии отраженных электронов в зависимости от нормированной энергии W=EfEо для некоторых элементов показаны на рис. 3.19 [32]. Для легких элементов распределение имеет вид широкой плавной кривой, в то время как для тяжелых элементов наблюдает- Рис. 3.18. Зависимость скорости потери энергии на единицу пройденного расстояния dE/dx (эВ/нм) для золота (1), железа (2) и кремния (3) от энергии электрона E (кэВ), полученная из выражения Бете [уравнение

(з.еГ)].

Рис. 3.19. Распределение отраженных электронов по энергиям для некоторых элементов. Измерения проделаны при угле выхода 45°. E0=ZO кэВ [32]. Взаимодействие электронного пучка с Ьбразцом_53

Карло 137]. Образец: 0,5 мкм БіОг на Si.

ся четкий пик. С увеличением атомного номера положение этого пика стремится к значению W=I1 а его высота возрастает. Энергетическое распределение для данного элемента при различных углах выхода гр (гр — угол, под которым устанавливается детектор к поверхности) меняется в зависимости от угла. Пики на распределении становятся более редкими при больших углах выхода (рис. 3.20) [32]. Такое поведение кривых можно снова понять, исходя из длины пути, который должен пройти Глава З

Падающие электроны Взаимодействие электронного пучка с Ьбразцом

55

электрон, чтобы достичь поверхности. Те электроны, которые наблюдаются при малых углах выхода, по-видимому, проходят больший путь в твердом теле и, таким образом, потеряют большую энергию.

Распределение по энергиям также меняется в зависимости от угла наклона образца. Уэллс показал [37], что для сильно наклоненных образцов те электроны, которые испытали наименьшие потери энергии, имеют пик распределения в направлении прямого рассеяния (рис. 3.21).

3.4.6. Пространственное распределение

Отраженные электроны могут выходить из поверхности образца на значительном расстоянии от места падения электронов пучка. Это является прямым следствием процесса упругого рас-

Падающие электроны

8000 А

20 KB <р = 0° /у = 0,51В

Падающие электроны

Al 20 кВ



/? = 0,263 V

8000 А

Au 20 кВ <р = 4 5° rj = 0,609

TOOO А

Рис. 3.23. Пространственное распределение отраженных от алюминия н золота электронов (?о=20 кэВ) для угла наклона O0 н 45° [39]. 56

Г лава З

1



Рис. 3.24. Пространственное распределение отраженных электронов,, испытавших потери энергии менее 1 кэВ (?о=20 кэВ, <p=0°, AEc <1 кэВ) [38].

сеяния электронов пучка в твердом теле и их последующего распространения с образованием области взаимодействия. В работе [38] моделированием по методу Монте-Карло рассчитано число вылетевших отраженных электронов в зависимости от положения относительно точки падения пучка (рис. 3.22,а). Для пучка, падающего нормально на плоский образец, распределение отраженных электронов по диаметру эмиттирующей области симметрично и имеет максимум в точке падения пучка. Для мишеней с большим атомным номером диаметр распределения меньше, а центральный максимум выше (рис. 3.23). Если образец наклонен (рис. 3.22,6 и 3.23), пространственное распределение отраженных электронов становится асимметричным относительно оси наклона, а максимум смещается дальше по поверхности от точки падения пучка.

Для построения распределений, приведенных на рис. 3.22 и 3.23, учитывались все отраженные электроны независимо от энергии. Если рассматривать лишь те электроны, которые потеряли менее 10% начальной энергии, то пространственное распределение становится меньше в диаметре и имеет более выраженный центральный максимум (рис. 3.24). Этот результат можно легко понять, поскольку те электроны, которые вышли на больших расстояниях от точки падения пучка, должны обязательно проникнуть глубже в образец и испытать больше неупругих соударений. Из рис. 3.22—3.24 ясно, что если исследователь, работающий на электронном микроскопе, хочет получить информацию об участках образца вблизи области падения электронного пучка, то предпочтительнее выбирать те из отраженных электронов, у которых потери энергии не слишком велики. Взаимодействие электронного пучка с Ьбразцом
Предыдущая << 1 .. 9 10 11 12 13 14 < 15 > 16 17 18 19 20 21 .. 90 >> Следующая

Авторские права © 2011 BooksOnChemistry. Все права защищены.
Реклама