Главное меню
Главная О сайте Добавить материалы на сайт Поиск по сайту Карта книг Карта сайта
Книги
Аналитическая химия Ароматерапия Биотехнология Биохимия Высокомолекулярная химия Геохимия Гидрохимия Древесина и продукты ее переработки Другое Журналы История химии Каталитическая химия Квантовая химия Лабораторная техника Лекарственные средства Металлургия Молекулярная химия Неорганическая химия Органическая химия Органические синтезы Парфюмерия Пищевые производства Промышленные производства Резиновое и каучуковое производство Синтез органики Справочники Токсикология Фармацевтика Физическая химия Химия материалов Хроматография Экологическая химия Эксперементальная химия Электрохимия Энергетическая химия
Новые книги
Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 2" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 1" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 12" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 11" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 10" (Журналы)
Книги по химии
booksonchemistry.com -> Добавить материалы на сайт -> Аналитическая химия -> Гоулдстейн Дж. -> "Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Книга 1" -> 28

Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Книга 1 - Гоулдстейн Дж.

Гоулдстейн Дж., Ньюбери Д., Эчлин П., Джой Д., Фиори Ч., Лифшин Э. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Книга 1 — М.: Мир, 1984. — 303 c.
Скачать (прямая ссылка): rastelektrmicroanaliz1984.djvu
Предыдущая << 1 .. 22 23 24 25 26 27 < 28 > 29 30 31 32 33 34 .. 90 >> Следующая


а — начальное состояние; б — неупругое рассеяние электронов пучка привело к образованию электронно-дырочных пар; в — рекомбинация и аннигиляция электронно-дырочной пары, приводящие к рождению фотона.

зоны, высвобождается в виде фотона. Так как энергия запрещенной зоны строго определена, то излучение имеет резкий максимум при соответствующих энергиях и является характеристикой состава объекта.

На рис. 3.52 показаны спектры катодолюминесценции GaAlAs. Релаксация электронно-дырочной лары может меняться из-за наличия атомов примеси или структурных дефектов, таких, как дислокации, что ведет к изменению энергии и интенсивности излучения, а также времени релаксации.

3.6. ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Понятие об области взаимодействия электронов пучка и области выхода измеряемого излучения из образца важно как для интерпретации изображений, так и для количественного

Рис. 3.52. Спектры катодолюминесценции полупроводника GaAlAs при 25 °С и ?0=150 кэВ.

^— от массивного объекта; 2 — тонкого образца; 3 — тонкого объекта и при Наличии дефекта решетки [67].

600 700 800 900

К. нм 96

Г лава З

Вторичные

электроны, 10 нм

Флуоресценция СоК( под действием

Отраженные электроны, 450 нм

Л "а

\ /Jcp=BO мкм

\

Ф

1 MKM

Рис. 3.53. Схема взаимодействия электронного пучка с энергией 20 кэВ со сплавом Cu—10% Со, демонстрирующая область взаимодействия электронов (сплошная линия), глубину выхода отраженных электронов, глубину выхода вторичных электронов, глубину генерации рентгеновского излучения для Cujck (пунктирная линия) и Culk (штрихпунктирная линия), глубину образования флуоресценции Сока под действием Cukcc.

рентгеновского микроанализа. Эти понятия обобщены на рис. 3.53, где для мишени с промежуточным атомным номером (Cu—10% Ni) и типичной энергии пучка, используемой в микроскопе и микроанализе (E = 20 кэВ), схематически показаны основные взаимодействия.

На рис. 3.53 отмечены следующие моменты.

1. Область взаимодействия пучка аппроксимируется полусферой с радиусом, равным длине пробега по модели Канайи — Окаямы.

2. Область выхода из образца отраженных электронов представляет собой диск с глубиной, равной 0,3 длины пробега по модели Канайи — Окаямы. Отметим, что диаметр этого диска определяется поперечной протяженностью области взаимодействия.

3. Область выхода из образца вторичных электронов представляет собой диск толщиной 10 нм с диаметром, равным диаметру области выхода отраженных электронов.

4. Радиусы областей линий Cuzca и Cuta рентгеновского излучения рассчитаны по уравнению Канайи — Окаямы для генерации рентгеновского излучения. Так как самопоглощение излучения меди для своего излучения Cu^a мало, то область выхо- Взаимодьіїствие электронного пучка с образцом

97

да его из образца будет почти такого же размера, как и область генерации рентгеновского излучения. Излучение Cu/, поглощается гораздо сильнее. Поэтому, хотя глубина области генерации рентгеновского излучения для Cui. больше, чем для Cuk, область выхода из образца будет намного меньше. Глубина генерации рентгеновского излучения для линии СоКа немного больше, чем для Си*а, так как меньше критический потенциал ионизации.

5. Размер области генерации характеристической флуоресценции Сока (ЕКр=7,71 кэВ) под действием Си/с^Екр = = 8,04кэВ), включающей 99% всего сигнала, составляет бОмкм, что в 50 раз больше, чем глубина непосредственного возбуждения электронами. Рис. 3.53 дает некоторое приближенное представление, так как отмечены лишь границы различных процессов. Объемная плотность каждого процесса не является постоянной в пределах области. Интенсивность электронных сигналов экспоненциально убывает с глубиной. Интенсивность сигналов рентгеновского излучения возрастает до максимального значения примерно на расстоянии 0,3 глубины проникновения электронов (см. распределение ср(рZ) на рис. 3.44), а затем экспоненциально убывает с глубиной. Глава 4

ФОРМИРОВАНИЕ ИЗОБРАЖЕНИЯ В РАСТРОВОМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ

4.1. ВВЕДЕНИЕ

Одним из наиболее удивительных аспектов растровой электронной микроскопии является кажущаяся простота интерпретации изображений объектов с шероховатой поверхностью, понятная для новичков или даже для людей, незнакомых с приборами.

Однако зачастую в растрово-электронных изображениях даже на изображениях простых объектов содержится гораздо больше информации, чем видит глаз. Для того чтобы получить максимальную информацию об объекте, необходимо развивать навыки интерпретации изображений. Более того, чтобы быть уверенным, что изображение правильно сформировано и зарегистрировано, в первую очередь необходимо иметь четкое представление о процессе формирования изображения. В данной главе мы рассмотрим основные свойства процесса формирования изображения в РЭМ: 1) принцип сканирования, используемый для построения изображения; 2) природу часто встречающихся механизмов формирования контраста, возникающих из-за взаимодействия электронного пучка с образцом; 3) характеристики детекторов различных сигналов и их влияние на изображение; 4) качество сигнала и его влияние на качество изображения; 5) обработку сигнала для окончательного отображения.
Предыдущая << 1 .. 22 23 24 25 26 27 < 28 > 29 30 31 32 33 34 .. 90 >> Следующая

Авторские права © 2011 BooksOnChemistry. Все права защищены.
Реклама