Главное меню
Главная О сайте Добавить материалы на сайт Поиск по сайту Карта книг Карта сайта
Книги
Аналитическая химия Ароматерапия Биотехнология Биохимия Высокомолекулярная химия Геохимия Гидрохимия Древесина и продукты ее переработки Другое Журналы История химии Каталитическая химия Квантовая химия Лабораторная техника Лекарственные средства Металлургия Молекулярная химия Неорганическая химия Органическая химия Органические синтезы Парфюмерия Пищевые производства Промышленные производства Резиновое и каучуковое производство Синтез органики Справочники Токсикология Фармацевтика Физическая химия Химия материалов Хроматография Экологическая химия Эксперементальная химия Электрохимия Энергетическая химия
Новые книги
Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 2" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 1" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 12" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 11" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 10" (Журналы)
Книги по химии
booksonchemistry.com -> Добавить материалы на сайт -> Аналитическая химия -> Гоулдстейн Дж. -> "Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Книга 1" -> 33

Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Книга 1 - Гоулдстейн Дж.

Гоулдстейн Дж., Ньюбери Д., Эчлин П., Джой Д., Фиори Ч., Лифшин Э. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Книга 1 — М.: Мир, 1984. — 303 c.
Скачать (прямая ссылка): rastelektrmicroanaliz1984.djvu
Предыдущая << 1 .. 27 28 29 30 31 32 < 33 > 34 35 36 37 38 39 .. 90 >> Следующая


4.2.6.2. Коррекция угла наклона

Лишь те объекты, которые лежат в плоскостях, перпендикулярных оптической оси, будут восстановлены с минимальными искажениями. Плоскости, наклонные относительно плоскости нормального сканирования, будут иметь сжатый масштаб при реконструкции, как показано на рис. 4.11, а. Эффективное увеличение изменяется в зависимости от угла расположения детали по отношению к плоскости нормального сканирования. Лишь плоскости нормального сканирования соответствует номинальное устанавливаемое на приборе увеличение, равное действительному увеличению. Так на изображении объекта с грубыми фасетками, такого, как поверхность излома, показанная на рис. 4.6, эффективное увеличение меняется от места к месту на изображении. Для сильно наклоненной поверхности увеличение в направлении, перпендикулярном оси наклона, меньше, чем увеличение в направлении, параллельном оси наклона (фактор cos 0, где 0 —угол наклона). Поэтому измерение расстояния на таком изображении может иметь смысл лишь в том случае, если известен локальный угол наклона поверхности.

Чтобы улучшить сбор отраженных и вторичных электронов, образец обычно наклоняется на угол 30—45° по отношению к детектору типа сцинтиллятор — фотоумножитель. Если объект плоский, то наклон образца вносит отмеченное выше проекционное искажение. Такое искажение можно непосредственно наблюдать на изображении сетки, где квадраты, наблюдаемые при наклоне в O0 (рис. 4.11,6), становятся прямоугольниками при на- Формирование изображения в РЭМ

11.7

Проекционное искажение Линия сканиро-

Сравнение сдвигов растра при 0=45°

H-H Параллельно оси наклона

t*---н перпендикулярно

оси наклона

а





KVI'iii

¦ВВИй їй'і

¦¦HIM

ітШтш

ШЙкм

Рис. 4.11.

о. — проекционное искажение, обусловленное наклоном образца на угол 9 = 45°. Растр имеет правильную длину вдоль осп наклона и удлинен в направлении, перпендикулярном оси наклона; б — латексная сфера на медной сетке, образец расположен перпендикулярно пучку; в — образец наклонен на угол 9 = 55°; о — применена коррекция наклона. Отметим, что выглядевшие укороченными ячейки сетки на рис. а скорректированы на РИс. г. но в результате этого процесса изображение сферы сильно исказилось. Энергия пучка 20 кэВ.

клоне на 55° (рис. 4.11,в). Обычно в РЭМ имеется устройство Для «коррекции угла наклона», действие которого схематически показано на рис. 4.11, а. «Коррекция угла наклона» обеспечивает коррекцию дисторсии изображения путем уменьшения длины 114

Г лава З

®

Линия сканирования

Сдвиг растра + Глубина срокуса Оптимальный фокус

Тлубина фокуса

В фокусе Ось наклона

Линия сканирования

Не в фокусе

Линия

сканирования

Пиния сканирования

фокусе

наклона

Рис. 4.12. Схематическая иллюстрация метода динамической фокусировки.

а — обычная ситуация для сильно наклоненного образца, когда часть поля зрения находится ие в фокусе, несмотря на большую глубину фокуса; б — динамическая фокусировка с помощью регулировки силы линзы в зависимости от положення пучка.

сканирования в направлении, перпендикулярном оси наклона, пропорционально cos 0, так что увеличение становится одинаковым в двух взаимно перпендикулярных направлениях. При такой коррекции ячейкам сетки возвращается правильная форма (рис. 4.11,г).

Отметим, однако, действие коррекции угла наклона на латексную сферу, которая также видна на рис. 4.11,6. При наклоне в O0 (рис. 4.11, в) проекция сферы дает ожидаемый круг, а ячейки сетки выглядят квадратными. На наклонном, нескорректированном изображении (рис. 4.11, в) сфера опять проектируется как круг, поскольку пересечение любой плоскости со сферой представляет собой круг, в то время как квадратные ячейки сетки искажены. Когда применена коррекция угла наклона (рис. 4.11, г), проекциями сферы становятся эллипсы, в то время как ячейки сетки снова выглядят квадратными. Этот пример является иллюстрацией того факта, что коррекцию наклона можно применять лишь для плоских объектов, для которых точно известен угол наклона и для которых угол наклона везде один и тот же в пределах поля зрения. Если коррекция наклона применяется к таким изображениям, как на рис. 4.11, в, то на Формирование изображения в РЭМ

11.7



Г

* 0^

*******

'' ! ліІІІІІІІЯШ

Рис. 4.13. Изображение сетки, соответствующее ситуации, представленной на рис. 4.12, а(а); изображение с динамической фокусировкой (б). 116

Г лава З

конечном изображении появляются нежелательные искажения. Такие искажения не будут столь очевидными, если объект представляет собой нерегулярную структуру, но они будут существовать и будут искажать реконструкцию в трехмерном пространстве, получаемую с помощью стереопар.

Дополнительным устройством, которое имеется в некоторых РЭМ, является приставка для «динамической фокусировки», которую не следует путать с «коррекцией наклона». При динамической фокусировке (рис. 4.12) изменяется оптическая сила линзы в зависимости от положения пучка при сканировании для того, чтобы скомпенсировать изменение его размера из-за изменения рабочего расстояния. При наблюдении сильно наклоненного плоского образца оптическая сила линзы увеличивается при сканировании верхней части поля зрения и ослабляется по мере прохождения растра вниз по объекту, сохраняя, таким образом, все время пучок в положении оптимальной фокусировки. Сильно наклоненный объект останется в фокусе, даже если его вертикальное смещение превышает глубину поля зрения, как показано на рис. 4.13. Отметим, однако, что динамическая фокусировка зависит от выполнения простого и известного соотношения между положением пучка и рабочим расстоянием. Динамическая фокусировка не может применяться к шероховатым, нерегулярным объектам, ее можно использовать лишь для гладких, плоских объектов.
Предыдущая << 1 .. 27 28 29 30 31 32 < 33 > 34 35 36 37 38 39 .. 90 >> Следующая

Авторские права © 2011 BooksOnChemistry. Все права защищены.
Реклама