Главное меню
Главная О сайте Добавить материалы на сайт Поиск по сайту Карта книг Карта сайта
Книги
Аналитическая химия Ароматерапия Биотехнология Биохимия Высокомолекулярная химия Геохимия Гидрохимия Древесина и продукты ее переработки Другое Журналы История химии Каталитическая химия Квантовая химия Лабораторная техника Лекарственные средства Металлургия Молекулярная химия Неорганическая химия Органическая химия Органические синтезы Парфюмерия Пищевые производства Промышленные производства Резиновое и каучуковое производство Синтез органики Справочники Токсикология Фармацевтика Физическая химия Химия материалов Хроматография Экологическая химия Эксперементальная химия Электрохимия Энергетическая химия
Новые книги
Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 2" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 1" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 12" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 11" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 10" (Журналы)
Книги по химии
booksonchemistry.com -> Добавить материалы на сайт -> Аналитическая химия -> Гоулдстейн Дж. -> "Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Книга 1" -> 37

Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Книга 1 - Гоулдстейн Дж.

Гоулдстейн Дж., Ньюбери Д., Эчлин П., Джой Д., Фиори Ч., Лифшин Э. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Книга 1 — М.: Мир, 1984. — 303 c.
Скачать (прямая ссылка): rastelektrmicroanaliz1984.djvu
Предыдущая << 1 .. 31 32 33 34 35 36 < 37 > 38 39 40 41 42 43 .. 90 >> Следующая


Для случая плоского образца, расположенного перпендикулярно пучку, угол выхода и телесный угол сбора электронов детектора типа сцинтиллятор — фотоумножитель показаны на рис. 4.18, а. Из высокоэнергетических отраженных электронов собираются лишь те, которые двигаются прямо по направлению к торцу спннтиллятора (т. е. вдоль «линии прямой видимости»), все остальные отраженные электроны не попадают на сцинтиллятор. Влияние потенциала смещения, приложенного к цилиндру Фарадея, на отраженные электроны пренебрежимо мало независимо от того, какой он — положительный или отрицательный. На рис. 4.18,6 показано, какая часть отраженных электронов собирается детектором для различных углов выхода для косинусоидального распределения по углам отраженных электронов при нормальном падении пучка на образец. Благодаря косинусоидальному распределению лишь малая часть отраженных электронов попадает на коллектор при малых углах выхода. Обычно для детекторов типа сцинтиллятор — фотоумножитель в РЭМ угол выхода отраженных электронов по порядку величины составляет 30°, а телесный угол сбора приблизительно равен 0,05 ср (диаметр сцинтиллятора 1 см, расстояние от него до образца 4 см). Если образец сильно наклонен, то угловое распределение отраженных электронов становится вытянутым в направлении падения. Получающийся с таким угловым распределением телесный угол сбора показан на рис. 4.18, е. Для наклонного образца детектор, расположенный под малым углом выхода в направлении прямого рассеяния, имеет более высокую эффективность сбора. Чувствительность сциптиллято- 126

Г лава З

ронов с косинусоидальным распределением с помощью детектора Э — Т, расположенного под различными углами выхода; в — относительный сбор отраженных электронов с сильно наклоненной поверхности с помощью детектора Э — Т, расположенного под различными углами выхода; г — схематическая иллюстрация отклонения траекторий вторичных электронов различных энергий под действием положительного потенциала, подаваемого на цилиндр Фарадея.

pa от энергии пучка сильно зависит от используемого материала, но в общем случае возрастает при увеличении энергии пучка. Для вторичных электронов гораздо труднее дать определение угла выхода и телесного угла сбора. Положительное напряжение смещения, подаваемое на цилиндр Фарадея, приводит к значительному отклонению траекторий вторичных электронов относительно детектора (рис. 4.18,г), что весьма существенно увеличивает телесный угол сбора по сравнению с телесным углом, определяемым простой геометрией, используемой для отраженных электронов (рис. 4.18,а). Вторичные электроны могут быть собраны, даже если точка испускания электронов и сцинтиллятор не лежат на одной линии наблюдения. С гладкой поверхности эффективность сбора может достигать 100%. Лишь прикладывая отрицательное напряжение смещения к цилиндру Фарадея, можно не допустить вторичные электроны на сцинтиллятор.

Суммируя вышесказанное, стандартный детектор типа сцинтиллятор— фотоумножитель, или детектор Эверхарта — Торнли, Формирование изображения в РЭМ

127

таким образом, обладает следующими отличительными особенностями: 1) электронный сигнал в нем получает при малом уровне шума большое усиление в широкой полосе частот, соизмеримой с полосой при телевизионной развертке; 2) детектирует как вторичные, так и отраженные электроны; 3) геометрическая эффективность сбора отраженных электронов мала (1— 10%), в то время как эффективность сбора вторичных электронов велика и часто составляет 50% или более; 4) в нем можйо селективно исключить вторичные электроны из сигнала на изображении путем подачи отрицательного потенциала на цилиндр Фарадея; 5) пока точка попадания электронного пучка на образец и сцинтиллятор лежит на одной линии, компонента сигнала отраженного электрона будет присутствовать на изображении. На практике при использовании детектора Эверхарта— Торнли могут встретиться более сложные случаи. Высокоэнергетические отраженные электроны от образца, не попадающие на сцинтиллятор, могут тем не менее дать вклад в сигнал. Такие отраженные электроны могут попадать на стенки камеры объектов, создавая вторичные электроны, которые эффективно собираются при положительном потенциале смещения на цилиндре Фарадея. За счет этого сигнал от отраженных электронов возрастает по сравнению со случаем сбора по линии прямой видимости (рис. 4.18, а).

4.4.1.2. Сцинтилляционные детекторы отраженных электронов

Обычно число отраженных электронов, испускаемых образцом, в 2—5 раз больше числа вторичных электронов. Отраженные электроны несут также много полезной информации о составе объекта, его топографии, кристаллической структуре и т. п. Для более полного использования сигнала отраженных электронов был разработан ряд детекторов со сцинтиллятора-ми [28, 80].

а. Широкоугольный сцинтилляционный детектор. Для максимального увеличения телесного угла сбора (в некоторых конструкциях до 2л; ср) были разработаны большие сцинтилляционные детекторы, расположенные в непосредственной близости от образца [37, 81]. Пример такого детектора с расположением сцинтиллятора над образцом дан на рис. 4.19, а. Такая система обеспечивает большой угол выхода и высокую эффективность сбора для образца, расположенного перпендикулярно пучку. Отметим, что если при таком расположении детектора образец наклонен, то эффективность сбора резко падает, так как отраженные электроны летят в направлении падения в сторону от Детектора.
Предыдущая << 1 .. 31 32 33 34 35 36 < 37 > 38 39 40 41 42 43 .. 90 >> Следующая

Авторские права © 2011 BooksOnChemistry. Все права защищены.
Реклама