Главное меню
Главная О сайте Добавить материалы на сайт Поиск по сайту Карта книг Карта сайта
Книги
Аналитическая химия Ароматерапия Биотехнология Биохимия Высокомолекулярная химия Геохимия Гидрохимия Древесина и продукты ее переработки Другое Журналы История химии Каталитическая химия Квантовая химия Лабораторная техника Лекарственные средства Металлургия Молекулярная химия Неорганическая химия Органическая химия Органические синтезы Парфюмерия Пищевые производства Промышленные производства Резиновое и каучуковое производство Синтез органики Справочники Токсикология Фармацевтика Физическая химия Химия материалов Хроматография Экологическая химия Эксперементальная химия Электрохимия Энергетическая химия
Новые книги
Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 2" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 1" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 12" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 11" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 10" (Журналы)
Книги по химии
booksonchemistry.com -> Добавить материалы на сайт -> Аналитическая химия -> Гоулдстейн Дж. -> "Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Книга 1" -> 41

Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Книга 1 - Гоулдстейн Дж.

Гоулдстейн Дж., Ньюбери Д., Эчлин П., Джой Д., Фиори Ч., Лифшин Э. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Книга 1 — М.: Мир, 1984. — 303 c.
Скачать (прямая ссылка): rastelektrmicroanaliz1984.djvu
Предыдущая << 1 .. 35 36 37 38 39 40 < 41 > 42 43 44 45 46 47 .. 90 >> Следующая


1. Так как ті монотонно возрастает с Z (или Z в случае мишеней сложного состава), области с высоким средним атомным номером будут выглядеть яркими по сравнению с областями с низким атомным номером в образце.

Рис. 4.26, Изображение в режиме отраженных электронов, полученное с помощью детектора Эверхарта — Торнлн, на сетку которого подано запирающее напряжение (а). То же самое изображение, но в режиме поглощенного тока (слабые вертикальные линии возникают за счет наводок (б).

Образец: сплав алюминий — никель; энергия пучка 20 кэВ. 8

Г лава З

Таблица 4.4. Контраст, зависящий от атомного номера

za 2S tU с
13 (Al) H(Si) 0,153 0,164 0,067
13 (Al) 26 (Fe) 0,153 0,279 0,451
13 (Al) 79 (Au) 0,153 0,487 0,686
Соседние пары элементов
13 (Al) . 14 (Si) 0,153 0,164 0,067
26 (Fe) 27 (Со) 0,279 0,287 0,028
41 (Nb) 42 (Mo) 0,375 0,379 0,013
57(La) 58 (Ce) 0,436 0,439 0,0068
78 (Pt) 79 (Au) 0,485 0,487 0,0041

2. Контраст, рассчитанный по уравнению (4.15) и по аппроксимации ті в зависимости от Z [33] [см. уравнение (3.14), гл. 3] для нескольких комбинаций элементов, приведен в табл. 4.4. Например, элементы отличающиеся лишь на единицу по атомному номеру, создают слабый контраст, например Al и Si дают контраст, равный 0,067 (6,7%). Для элементов с большей разностью в атомном номере контраст много сильнее, например Al и Au дают контраст порядка 0,69 (69%).

3. Рассматривая соседние пары элементов периодической таблицы по мере возрастания атомного номера, видно, что контраст от атомного номера уменьшается за счет уменьшения наклона кривой зависимости т] от Z при возрастании Z. Для случаев когда разность по Z составляет единицу, контраст составляет 6,7% для Al—Si, в то время как для Au—Pt контраст Формирование изображения в РЭМ

139

падает до 0,41%. График контраста между соседними парами элементов, рассчитанный выше, дан на рис. 4.27, и некоторые примеры приведены в табл. 4.4. На рис. 4.27 не учитывался возможный вклад вторичных электронов. Таким образом, рассчитанные значения контраста пригодны для детектора, улавливающего лишь отраженные электроны, такого, как тведо-тельный детектор или детектор типа Эверхарта — Торнлн, на который подано отрицательное напряжение смещения. Если учитываются также и вторичные электроны, формула для контраста становится более сложной:

C= (S2-S1)IS2= [(е0.эг12-Кв.А) -

— (Єо.ЗПІ+ЄЗ.АН/КЗ^ + ЄЗ.А), (4.16)

где е0. э — эффективность сбора отраженных электронов, а ев э — эффективность сбора вторичных электронов. В общем случае ев. э>е0. э для детектора Эверхарта — Торнли по причинам, обсуждавшимся ранее. Таким образом, действительная величина (и смысл) контраста, обусловленного атомным номером, может существенно подвергаться воздействию вторичных электронов, если бі и 02 различны.

Коэффициент вторичной эмиссии не сильно зависит от атомного номера для энергий пучка свыше 10 кэВ. Однако ниже 5 кэВ возрастание коэффициента вторичной электронной эмиссии может сильно влиять на наблюдаемый контраст от атомного номера. Отсутствие надежных данных о коэффициентах вторичной электронной эмиссии, в особенности при низкой энергии пучка, делает затруднительной интерпретацию контраста от атомного номера в этом диапазоне энергии.

4. Направленность эмиссии отраженных электронов может оказывать влияние на контраст от атомного номера за счет установки детектора по отношению к образцу. При нормальном падении пучка отраженные электроны распределены по косинусу, так что детектор, расположенный под большим углом выхода, будет захватывать большую долю отраженных электронов, чем детектор, регистрирующий сигнал при меньшем угле выхода. Таким образом, кольцевой твердотельный детектор, расположенный над образцом под большим углом выхода, будет более эффективным при отображении контраста от атомного номера, чем детектор, установленный под малым углом выхода.

5. Спектр отраженных электронов по энергиям имеет значительно более выраженный максимум при больших значениях Е/Ео при возрастании атомного номера (гл. 3). Таким образом, детектор, который, в частности, чувствителен к электронам высоких энергий, будет иметь тенденцию к увеличению контраста от атомного номера для элементов с высоким Z относитель- 140

Г лава З

но элементов с низким Z. Твердотельный детектор имеет такую зависящую от энергии передаточную характеристику (рис. 4.21).

6. Особые свойства (зависимость от энергии, эффективность сбора и т. д.) детекторов электронов, таких, как твердотельный детектор или детектор Эверхарта — Торнли, могут значительно изменять контраст от атомного номера по сравнению со значениями, предсказываемыми расчетами контраста. Единственный сигнал, который дает контраст, подобный рассчитанному из уравнения (4.15), это сигнал поглощенного тока. Это в частности справедливо, если образец находится под положительным напряжением смещения для возврата вторичных электронов, так что только процесс отражения влияет на сигнал поглощенного тока. Контраст в режиме поглощенного тока нечувствителен к траекторным эффектам, так как единственным требованием, налагаемым на величину поглощенного тока, является то, чтобы электрон покидал образец; направление же, в котором он вылетает, не имеет значения.
Предыдущая << 1 .. 35 36 37 38 39 40 < 41 > 42 43 44 45 46 47 .. 90 >> Следующая

Авторские права © 2011 BooksOnChemistry. Все права защищены.
Реклама