Главное меню
Главная О сайте Добавить материалы на сайт Поиск по сайту Карта книг Карта сайта
Книги
Аналитическая химия Ароматерапия Биотехнология Биохимия Высокомолекулярная химия Геохимия Гидрохимия Древесина и продукты ее переработки Другое Журналы История химии Каталитическая химия Квантовая химия Лабораторная техника Лекарственные средства Металлургия Молекулярная химия Неорганическая химия Органическая химия Органические синтезы Парфюмерия Пищевые производства Промышленные производства Резиновое и каучуковое производство Синтез органики Справочники Токсикология Фармацевтика Физическая химия Химия материалов Хроматография Экологическая химия Эксперементальная химия Электрохимия Энергетическая химия
Новые книги
Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 2" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 1" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 12" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 11" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 10" (Журналы)
Книги по химии
booksonchemistry.com -> Добавить материалы на сайт -> Аналитическая химия -> Гоулдстейн Дж. -> "Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Книга 1" -> 44

Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Книга 1 - Гоулдстейн Дж.

Гоулдстейн Дж., Ньюбери Д., Эчлин П., Джой Д., Фиори Ч., Лифшин Э. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Книга 1 — М.: Мир, 1984. — 303 c.
Скачать (прямая ссылка): rastelektrmicroanaliz1984.djvu
Предыдущая << 1 .. 38 39 40 41 42 43 < 44 > 45 46 47 48 49 50 .. 90 >> Следующая


б. Вторичные и отраженные электроны. Рассмотрим теперь случай, когда цилиндр Фарадея находится под положительным напряжением, так что происходит также сбор вторичных электронов (рис. 4.30,а). Отметим, что сбор отраженных электронов происходит тем же самым образом, как и в предыдущем случае (рис. 4.29,в). Мы считаем, что вторичные электроны будут эмиттироваться со всех бомбардируемых пучком поверхностей, Формирование изображения в РЭМ

147

причем их число будет резко возрастать с ростом эффективного-локального угла наклона. Контраст от двух поверхностей с различным наклоном может быть найден дифференцированием закона секанса для вторичной электронной эмиссии. Так, do = = sec0tg0rf8, а С = do/б = tgorfo, где 0 — средний угол наклона двух поверхностей, a dQ — разница в угле наклона. Самое большое влияние на вид изображения оказывает эффективность сбора детектором вторичных электронов. Вторичные электроны собираются в некоторой мере со всех поверхностей бомбардируемого пучком образца, включая поверхности, наклоненные в сторону от детектора и которые не создавали полезный сигнал в режиме отраженных электронов.

Полученное изображение (рис. 4.29,6) выглядит более равномерно освещенным, причем сигналы идут со всех поверхностей. Отметим, что изображение правильно считать как изображение в суммарном сигнале вторичных и отраженных электронов— факт, который часто упускают из вида. При интерпретации топографических изображений важно учитывать оба вклада в сигнал. Сравнивая рис. 4.29,6 (лишь отраженные электроны) и 4.30,6 (отраженные и вторичные электроны), отметим, что те фасетки, которые были светлыми на изображении в отраженных электронах, остаются светлыми и на изображении в суммарном сигнале вторичных и отраженных электронов. Принципиальное различие, связанное с добавкой вторичных электронов, состоит в получении некоторого сигнала с бомбардируемых пучком поверхностей, что сглаживает резкий контраст в одних отраженных электронах и обеспечивает сбор информации со всего поля зрения. Наличие сигнала отраженных электронов дает наибольшую информацию с точки зрения топографии, т. е. является ли данная неоднородность выпуклостью или впадиной.

Светооптической аналогией для случая суммарного сигнала вторичных и отраженных электронов является освещение от косого, направленного источника,, представленного на рис. 4.29, в, в совокупности с освещением рассеянным светом со всех сторон, так что наблюдатель, находящийся над образцом, видит освещенными все участки объекта, по крайней мере частично.

4.5.5.3. Светооптическая аналогия

Точное понимание светооптической аналогии необходимо для того, чтобы установить правильную точку зрения при анализе изображений шероховатых объектов в РЭМ детектором Эвер-харта — Торнли, на который подано положительное напряжение. Для того чтобы установить эквивалентность между ситуа- 148

Г лава З

цией в РЭМ и наблюдателем, мы должны подобрать компоненты с одинаковыми характеристиками. Глаз имеет такую же высокую направленность, как и электронный пучок, а следовательно, мы вообразим, что наблюдатель смотрит вниз через апертурную диафрагму. Детектор Э — T обладает как свойством высокой направленности (для отраженных электронов), так и диффузной характеристикой (для вторичных электронов). В нашей обычной повседневности у нас есть направленное освещение сверху (солнце) и направленное во все стороны диффузное освещение за счет атмосферного рассеяния. Таким образом, мы представим, что образец освещается источником света, состоящим из направленного от детектора Э — T светового пучка и общего внутри всей камеры образцов источника рассеянного света. Таким образом, для интерпретации изображения мы представим, что мы можем поместить глаз над образцом, освещение которого производится из положения детектора. Светлые области должны быть обращены к источнику света. Так как мы привыкли иметь дело с освещением сверху, то более естественно интерпретировать смысл топографии, когда детектор Э — T расположен сверху изображения. Если наблюдатель бессознательно рассматривает изображение с кажущимся освещением, идущим не сверху, а по другому направлению, то возможно, что смысл топографии может стать противоположным. Поэтому условие освещения сверху должно всегда использоваться при представлении микрофотографий РЭМ.

Хотя этот метод интерпретации топографического контраста является успешным в большинстве случаев, встречаются случайные изображения, на которых смысл топографии не очевиден, возможно, из-за особенностей сбора электронов. В таких случаях могут понадобиться наклон и поворот образца либо изготовление стереопар для определения точного смысла топографии.

4.5.5.4. Топографический контраст, получаемый с помощью других детекторов

а. Твердотельный детектор. Картина шероховатого образца на изображении, полученном с помощью твердотельного детектора, значительно меняется с изменением угла выхода. При большом телесном угле с детектором, расположенным вблизи пучка с большим углом выхода (рис. 4.31, а), сигнал собирается со всех поверхностей, причем, как показано на рис. 4.32, а, яркость уменьшается при увеличении наклона поверхности. Если используется детектор с большой площадью или пара детекторов, работающих в режиме суммирования, то траекторные эффекты контраста в некотором роде уменьшаются, поскольку Формирование изображения в РЭМ
Предыдущая << 1 .. 38 39 40 41 42 43 < 44 > 45 46 47 48 49 50 .. 90 >> Следующая

Авторские права © 2011 BooksOnChemistry. Все права защищены.
Реклама