Главное меню
Главная О сайте Добавить материалы на сайт Поиск по сайту Карта книг Карта сайта
Книги
Аналитическая химия Ароматерапия Биотехнология Биохимия Высокомолекулярная химия Геохимия Гидрохимия Древесина и продукты ее переработки Другое Журналы История химии Каталитическая химия Квантовая химия Лабораторная техника Лекарственные средства Металлургия Молекулярная химия Неорганическая химия Органическая химия Органические синтезы Парфюмерия Пищевые производства Промышленные производства Резиновое и каучуковое производство Синтез органики Справочники Токсикология Фармацевтика Физическая химия Химия материалов Хроматография Экологическая химия Эксперементальная химия Электрохимия Энергетическая химия
Новые книги
Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 2" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 1" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 12" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 11" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 10" (Журналы)
Книги по химии
booksonchemistry.com -> Добавить материалы на сайт -> Аналитическая химия -> Гоулдстейн Дж. -> "Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Книга 1" -> 45

Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Книга 1 - Гоулдстейн Дж.

Гоулдстейн Дж., Ньюбери Д., Эчлин П., Джой Д., Фиори Ч., Лифшин Э. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Книга 1 — М.: Мир, 1984. — 303 c.
Скачать (прямая ссылка): rastelektrmicroanaliz1984.djvu
Предыдущая << 1 .. 39 40 41 42 43 44 < 45 > 46 47 48 49 50 51 .. 90 >> Следующая


149

Рис. 4.31. Сбор электронов со случайно наклоненных поверхностей с помощью большого кольцевого твердотельного детектора или парного твердотельного детектора.

электроны, эмиттированные с поверхностей, наклоненных в противоположных направлениях по отношению к пучку, все же при большом угле сбора имеют вероятность попасть на детектор. Однако знак контраста обращается и, таким образом, топография выглядит «наизнанку» (сравните рис. 4.29,6 и 4.32, а). Со щелевым детектором, работающим в разностном режиме, чувствительность к изменению траекторий гораздо больше, за счет чего восприятие топографии сохраняется при условии, что разностный сигнал используется для создания мнимого освещения сверху (рис. 4.32,6).

б. Поглощенный ток. Непосредственное изображение шероховатой поверхности, получаемое в режиме поглощенного тока и показанное на рис. 4.33, а, заметно отличается от эмиссионных изображений, получаемых с помощью детектора Э — Т. Из-за обращения контраста вытекающее из уравнения (4.22) восприятие топографии кажется противоположным тому, к которому привык наблюдатель, так как те поверхности, которые расположены ближе к нормали к пучку, выглядят самыми яркими. Для того чтобы понять топографию образца, часто инвертируют контраст в соответствующем канале усилителя, созда- 150

Г лава З

Рис. 4.32. Изображение, полученное в режиме суммирования сигналов с помощью парного детектора (то же поле зрения, что и на рис. 4.30, б) (а). Изображение, полученное в режиме вычитания сигналов (б). Энергия пучка 15 кэВ.

вая инвертированное изображение в режиме поглощенного тока (рис. 4.33,6), которое воспроизводит контраст так же, как и в эмиссионном режиме. Инвертированное изображение шероховатой поверхности в режиме поглощенного тока характеризуется отсутствием резких перепадов контраста по сравнению с изображением в отраженных электронах, получаемом с помощью Формирование изображения в РЭМ

151

Рис. 4.33. Прямое изображение s поглощенном токе того же поля зрения, как на рис. 4.30,6 (а). Инвертированное изображение в режиме поглощенного тока, соответствующее а (б). Энергия пучка 15 кэВ.

детектора Э—'Т. Контраст в режиме поглощенного тока создается лишь за счет эффектов, связанных с количеством вылетающих частиц: изображения в поглощенном токе не подвергаются влиянию траекторных и энергетических воздействий. Таким образом, исключается эффект затемнения. Инвертированное в режиме поглощенного тока изображение образца, положительно смещенного для исключения влияния вторичных электронов, эквивалентно тому изображению, которое мы увидели бы 152

Г лава З

с помощью твердотельного детектора в виде полусферы над образцом, собирающего все отраженные электроны.

Режим поглощенного тока имеет некоторые преимущества,, которые следует отметить:

1. Так как контраст не зависит от того, что происходит с электронами после того, как они покинули образец, режим поглощенного тока может всегда быть использован для получения изображения даже в тех случаях, когда стандартный детектор в эмиссионном режиме находится в невыгодном положении из-за плохой геометрии сбора.

2. Так как коэффициент отражения и вторичной эмиссии монотонно возрастает с наклоном, то изображение в поглощенных электронах может быть использовано в смысле количественной оценки наклона поверхности относительно пучка. Так, на рис. 4.33,6 все поверхности, создающие одинаковый уровень сигнала, находятся под одинаковым наклоном относительно пучка.

3. Сигнал поглощенного тока может быть использован для разделения воздействия контраста, обусловленного количеством вылетающих частиц от траєкторного и/или энергетического воздействий.

4.6. КАЧЕСТВО ИЗОБРАЖЕНИЯ

Учитывая, что образец в РЭМ способен создавать ,контраст, мы теперь рассмотрим, какой должен выполняться критерий, чтобы получить изображение на электронно-лучевой трубке, передающей наблюдателю эту информацию о контрасте. Эти критерии могут быть разделены на два класса: 1) соотношение для контраста, потенциально определяющее качество сигнала, и 2) методы обработки сигнала, которые должны быть использованы для действительной передачи информации о контрасте в видимый для глаза сигнал.

4.6.1. Качество сигнала и информация о контрасте

Мы все знакомы с ежедневной проблемой попытки настройки домашнего телевизора, работающего от удаленной телевизионной станции. Если сигнал от станции слабый, мы получим, что качество изображения деталей на экране завуалировано наличием шума, а именно случайными флуктуациями яркости точек изображения, которые накладываются на действительный сигнал, изменяют контраст, который мы хотим видеть. Наличие флуктуаций, или шума, ограничивающих информацию, имеющуюся на изображении, обычное явление для всех процессов отображения. Формирование изображения в РЭМ

153



В

сАВ = as/sA

положение зонда на линии сканирования

а

Положение зонда на

линии сканирования

б

Рис. 4.34. Вид осциллограммы при однократном сканировании поперек поля зрения (а). Картина, получаемая при наложении осциллограмм при многократном сканировании вдоль одной и той же линии иа образце (о); А и В
Предыдущая << 1 .. 39 40 41 42 43 44 < 45 > 46 47 48 49 50 51 .. 90 >> Следующая

Авторские права © 2011 BooksOnChemistry. Все права защищены.
Реклама