Главное меню
Главная О сайте Добавить материалы на сайт Поиск по сайту Карта книг Карта сайта
Книги
Аналитическая химия Ароматерапия Биотехнология Биохимия Высокомолекулярная химия Геохимия Гидрохимия Древесина и продукты ее переработки Другое Журналы История химии Каталитическая химия Квантовая химия Лабораторная техника Лекарственные средства Металлургия Молекулярная химия Неорганическая химия Органическая химия Органические синтезы Парфюмерия Пищевые производства Промышленные производства Резиновое и каучуковое производство Синтез органики Справочники Токсикология Фармацевтика Физическая химия Химия материалов Хроматография Экологическая химия Эксперементальная химия Электрохимия Энергетическая химия
Новые книги
Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 2" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 1" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 12" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 11" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 10" (Журналы)
Книги по химии
booksonchemistry.com -> Добавить материалы на сайт -> Электрохимия -> Волосатова В.А. -> "Справочник по электро-химическим и электро-физическим методам обработки" -> 130

Справочник по электро-химическим и электро-физическим методам обработки - Волосатова В.А.

Волосатова В.А. Справочник по электро-химическим и электро-физическим методам обработки — Л.: Машиностроение, 1988. — 719 c.
ISBN 5-217-00267-0
Скачать (прямая ссылка): spravochnikpoeletrohimicheskim1988.djvu
Предыдущая << 1 .. 124 125 126 127 128 129 < 130 > 131 132 133 134 135 136 .. 242 >> Следующая

Обработка тонколистовых мате
риалов
в микроэлектронике и при

боростроении; d = 700-ь 100 мкм;
Ирез =
120 мм/мин
Квант-12 1,06 --- 3
Квант-17 1,06 --- 4
Квант-30 1,06 _ 2
Квант-15 1,06 --- . До 10
Квант-50 1,06 125 ---
АК378 --- --- 1,5
4222Ф2 ** --- --- 2.0
Катод-клистрон _ 40 _
ЛТП-502 * 1,06 16 ---
ЛНТ-103 * 1,06 250 ---
ЛТИ-701 * 0,53 4
ЛТИ-504 * 1,06 4 ---
ЭМ-210 * 1,06 6 ---
ЭМ-220 * 1,06 16 ---
.* OK Г, используемые в технологических установках. • * Размеры стола
300x100 мм.
1—200
10
20 До 10
(5ч-50)-103
Непрерывный процесс излучения (1ч-25)-103 (0,5-г-25)Х Х10$ (5ч-50)- 10э
(5ч-50)-103
Сварка металлов при Л3тв =
— 0,2 мкм; v — 150 мм/мии; h —
— 0,3 мм; d = 0,25ч-1 мм
Сварка корпусов интегральных микросхем; h == 0,1ч-0,3 мм; осв — = 500
мм/мйн
Прецизионная мнкросварка элементов интегральных микросхем
Шовная и точечная сварка, прошивание отверстий, термообработка Пайка
микросхем на печатные платы: 500 точек/мин; резание диэлектрических, и
металлических заготовок; сварка и термоупрочнение Прошивание отверстий d
— 80ч--f- 200 мкм
Установка с ЧПУ и УЗ-модуля-цией излучения; прошивание отверстий d —
10ч- 200 мкм Резание стеклянных труб Скрайбирование полупроводниковых
пластин, резисторов Сварка, термообработка, резание, термораскальтвание
Производство СБИС'
Подгонка сопротивлений
Скрайбирование полупроводниковых пластин То же
Оборудование для CJ10 состоит из систем! генерации и передачи
излучения, накачки и фокусировки, контроля параметров излучения,
перемещения и наблюдения за заготовкой [12, 251.
Современные установки для СЛО снабжены также системой охлаждения
рабочего тела для стабилизации энергетических параметров и характеристики
излучения.
В табл. 4.9 даны технические характеристики установок на базе ТЛ,
выпускаемых отечественной промышленностью [12, 16, 18, 25, 27, 34].
Рис. 4.8. Типовые схемы ОКГ на СОй: а — с отпаянным рабочим объемом; 6 —
с продольной прокачкой газа; в — с поперечной прокачкой
газа;
t вт рабочий объем; 2 — веркала резонатора; S система прокачки газа
Основные типы ГЛ! гелийнеоновые и на углекислом газе. Гелийнеоновые
лазеры имеют газовую трубку длиной до 2 м и диаметром до 30 см,
заполненную смесью гелия и неона под высоким давлением. При мощности
излучения таких лазеров порядка 200—300 Вт диаметр луча может достигать
25 мм.
Перспективность применения ГЛ на С02 для технологических целей
определяется их высоким КПД (до 25 %) по сравнению с ТЛ. Различают ГЛ с
отпаянным рабочим телом и ГЛ с продольной и поперечной прокачкой (рис.
4.8).
Отпаянный ГЛ на С02 имеет мощность' до 0,5 кВт; с ростом мощности ГЛ
существенно растет длина резонатора и, следовательно, размеры установки.
Газовые лазеры с продольной прокачкой снабжены системой откачки и
подачи рабочего газа. Мощность излучения такого лазера пропорциональна
длине разрядной трубки. Для уменьшения габаритных размеров ГЛ применяют
секционированные трубки, что снижает КПД лазеров из-за увеличения площади
отражающих поверхностей в резонаторе. Мощность компактных установок не
превышает 0,5 кВт.
В схеме с поперечной прокачкой рабочий газ не успевает нагреться в
разрядном промежутке, что позволяет повысить энергию возбуждения без
повышения эффективности систем охлаждения. Это дает выигрыш в КПД и в
габаритных размерах установки
Средства технологического оснащения ПЗО по способу генерации
низкотемпературной плазмы подразделяют на дуговые и высокочастотные. Они
состоят из источников питания (ИП), плазмотронов и приспособлений для
реализации процесса [3, 9, 20, 22].
Источники питания современных дуговых установок для ПЗО характеризуются
падающими внешними статистическими вольт-амперными характеристиками (ВАХ)
(рис. 4.9). Они выполняются на управляемых дросселях насыщения,
тиристорных выпрямителях с обратной связью
Рис. 4.10. Типовая схема ВЧ-ИП:
1 — анодный трансформатор; 2 — анодный выпрямитель; Г Л генераторная
лампа; ТН — накальный трансформатор; L1 — управляющая индуктивность; Cl,
L2, LS — разделительные емкость и индуктивности; С2—С4, L4—L8 емкости и
индуктивности анодного колебательного контура
по току, индуктивно-емкостных преобразователях и на ключевых
стабилизаторах и полупроводниковых инверторах.
Для всех видов ПЗО заготовок в состав ИП входит генератор
высоковольтных высокочастотных импульсов; осциллятор — для электрического
пробоя промежутка электрод — изделие и возбуждения искрового разряда,
Предыдущая << 1 .. 124 125 126 127 128 129 < 130 > 131 132 133 134 135 136 .. 242 >> Следующая

Авторские права © 2011 BooksOnChemistry. Все права защищены.
Реклама