Главное меню
Главная О сайте Добавить материалы на сайт Поиск по сайту Карта книг Карта сайта
Книги
Аналитическая химия Ароматерапия Биотехнология Биохимия Высокомолекулярная химия Геохимия Гидрохимия Древесина и продукты ее переработки Другое Журналы История химии Каталитическая химия Квантовая химия Лабораторная техника Лекарственные средства Металлургия Молекулярная химия Неорганическая химия Органическая химия Органические синтезы Парфюмерия Пищевые производства Промышленные производства Резиновое и каучуковое производство Синтез органики Справочники Токсикология Фармацевтика Физическая химия Химия материалов Хроматография Экологическая химия Эксперементальная химия Электрохимия Энергетическая химия
Новые книги
Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 2" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 1" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 12" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 11" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 10" (Журналы)
Книги по химии
booksonchemistry.com -> Добавить материалы на сайт -> Органическая химия -> Анюхин В.З. -> "Практикум по химии и технологии полупроводников" -> 46

Практикум по химии и технологии полупроводников - Анюхин В.З.

Анюхин В.З., Гончаров Е.Г., Кострюкова Е.П. Практикум по химии и технологии полупроводников — М.: Высшыя школа, 1978. — 191 c.
Скачать (прямая ссылка): praktikumpohim1978.djvu
Предыдущая << 1 .. 40 41 42 43 44 45 < 46 > 47 48 49 50 51 52 .. 80 >> Следующая


GeO2 + 6HF = H2 [GeFe] + 2Н20 GeO2 + 2 KOH + 2Н20 = K2 [Ge (OH)e]

В качестве растворителей используют воду и такие органические вещества, как спирты (глицерин, этиленгликоль, этиловый и метиловый спирты), безводная уксусная кислота, метилформамид и др. С одной стороны, растворитель регулирует скорость диффузионного процесса. С другой стороны, он влияет на силу растворенных электролитов и их окислительную способность.

Растворитель часто выступает в роли замедлителя или ускорителя процесса. Замедлителями или ускорителями также служат специально добавляемые реагенты. Очень часто они или сами являются Катализаторами процесса, или способствуют образованию каталйза-торов, генерируют или обрывают цепи в цепных реакциях. В состав некоторых травителей добавляют соли таких малоактивных металлов, kaK ртуть, серебро, медь. Обычно эти добавки обусловливают селектив-''0cTb. Тяжелые металлы при восстановлении декорируют участки Ухода дислокаций и р—n-переходы. При этом или появляется разли-Ие в окраске отдельных участков поверхности, или меняется скорость 'х Растворения.

103> Составы применяемых травителей в большинстве своем подобраны эмпирически. В зависимости от задач травления, требований к состоянию поверхности выбирают те или иные сочетания компонентов. Варьируя не только состав, но и продолжительность процесса, температурные условия, используя перемешивание, можно подобрать для каждого случая оптимальные условия.

Травление германия. Кислотный травитель СР-4 обладает полирующим действием. В состав его входят азотная, плавиковая, уксусная кислоты и бром. Первые два компонента — окислитель и комплексообразователь. Процесс травления описывается суммарным уравнением

3Ge + 4HNOS + I8HF = ЗН2 [GeFe] + 4NO + 8! I2O

Уксусная кислота — замедлитель. Процесс травления с теми же компонентами в отсутствие уксусной ,кислоты идет настолько быстро, что перестает быть контролируемым. Реакция является автокаталитической. Процессу травления предшествует длительный индукционный период, связанный с каталитическим действием NO и NO2, накапливающихся в результате реакции. Бром ускоряет процесс образования HNO2 или NO2:

Br2 + NO -f H2O = NO2 + SHBr Br2 + 2NO 4- 2Н20 = 2HN02 + 2НВг

Бромистый водород окисляется азотной кислотой снова до свободного брома. Таким образом, достаточно небольшого количества брома, чтобы в процессе травления сохранялась необходимая концентрация NO2.

Кроме СР-4 при производстве полупроводниковых германиевых приборов часто используют травители, содержащие перекись водорода и плавиковую кислоту (пергидролевый травитель.) Травление происходит за счет образования фторокомплексов германия (H2O2 — окислитель, HF — комплексообразователь). Травитель является полирующим и характеризуется небольшой скоростью травления. Близкими свойствами Обладает щелочной пергидролевый травитель. Реакция. Ьписывающая процесс травления, может быть представлена одним из уравнений:

. 2NaOH + Ge f 2Н202 = Na2GeO8 4- ЗН20 Ge + 4Н202 4- 2NaOH = Na2GeO5 -f 5Н20 • 2Ge -f 6Н20 4- 2NaOH = Na2Ge2O7 -f 7II2O '

• В табл. 1 приведены составы некоторых наиболее употребительны5 полирующих и селективных травителей для германия.

Травление кремния. Растворы для травления кремния содер$г' те же компоненты. Однако перекись водорода не может быть Hcno-It' зована для травления кремния, так как не взаимодействует с Hi"' В табл. 2 приведены составы некоторых полирующих и селективні травителей для кремния.

104> !

Травители для германия

Таблица I

Травитель

,Состав, мл

Примечания

СР-4

Кислый пергидролевый (супероксоль)

Кислый пергидролевый разбавленный (супероксоль)

Феррипианидньгй

/

«Вестнигауз серебряный»

HNOa25; HF 15; CH3COOH 15; Br2 0,3 (г)

H2O2 I; HF 1. H2O 4

1 мл супероксоля (I мл H2O2, 1 мл HF; 4 мл H2O) в 50 мл воды

KOH 6 (г); K3[Fe(CN)„] 4 (г); H2O 50

HNO3 1; HF 2; AgNO3 (5%) 2

Полирование и травление поверхностей (111) и (IOO)i Выявление р—и-переходов

Травитель с небольшой скоростью травления. Используется при подогреве

Дает ямки травления на плоскостях (111), (100) я (110) с четкой структурой

Селективное травление плоскости (111)

Выявление границ между зернами, травление плоскости (ill)-

Примечание. Для приготовления указанных травителей необходимо использовать 48%-ную плавиковую, 70%-ную азотную, ледяную уксусную кис-слоты и 30%-ную перекись водорода. Реактивы, применяемые для составления травителя, должны быть чистыми. Особенно это требование относится к плавиковой кислоте, в которой часто бывают растворены тяжелые металлы.

Таблица S

Травители для кремния

Травитель

Состав, мл

Примечание

СР-8

/

CP-8 с уксусной кислотой

Йодный травитель А , Травитель Дэша

СД-1

^Ромовый травитель

HNO3 3; HF 1

HNO8 3; HF 1; CH3COOH 1

HNO4 100; HF 50; CH3COOH 100; I2 1

HNO3 3; HF I; CH3COOH 8—12

HNO3 18; HF 25; СН..СООН 5; H2O Ift Br2 О, I

CrO3 15 (г); HF 15; HaO 35

Наиболее часто используемый полирующий травитель

Скорость травления ниже, чем в СР-8
Предыдущая << 1 .. 40 41 42 43 44 45 < 46 > 47 48 49 50 51 52 .. 80 >> Следующая

Авторские права © 2011 BooksOnChemistry. Все права защищены.
Реклама