Главное меню
Главная О сайте Добавить материалы на сайт Поиск по сайту Карта книг Карта сайта
Книги
Аналитическая химия Ароматерапия Биотехнология Биохимия Высокомолекулярная химия Геохимия Гидрохимия Древесина и продукты ее переработки Другое Журналы История химии Каталитическая химия Квантовая химия Лабораторная техника Лекарственные средства Металлургия Молекулярная химия Неорганическая химия Органическая химия Органические синтезы Парфюмерия Пищевые производства Промышленные производства Резиновое и каучуковое производство Синтез органики Справочники Токсикология Фармацевтика Физическая химия Химия материалов Хроматография Экологическая химия Эксперементальная химия Электрохимия Энергетическая химия
Новые книги
Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 2" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 1" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 12" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 11" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 10" (Журналы)
Книги по химии
booksonchemistry.com -> Добавить материалы на сайт -> Промышленные производства -> Анохин В.3. -> "Практикум по химии и технологии полупроводников" -> 1

Практикум по химии и технологии полупроводников - Анохин В.3.

Практикум по химии и технологии полупроводников - учебное пособие

Автор: Анохин В.3.
Другие авторы: Гончаров Е. Г., Кострюкова Е. П., Маршакова Т. А.
Издательство: M.: «Высшая школа»
Год издания: 1978
Страницы: 191
Читать: 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81
Скачать: poluprovodniki.djvu

ББК 24.5 П69

УДК 54:537.311.33(075)

В. 3. Анохин, Е. Г. Гончаров, Е. П. Кострюкова, В. Р. Пшестанчик, Т. А. Маршакова

Рецензенты: проф. В. Н. Вигдорович (МИЭТ) и кафедра аналитической химии Томского государственного университета им. В. В. Куйбышева (зав. кафедрой проф. Г. А. Катаев)

П 69

Практикум по химии и технологии полупроводников: Учеб. пособие для студентов вузов /Анохин В.З., Гончаров Е.Г., Кострюкова Е.П. и др. Под ред. Угая Я.А. — M.: Высш. школа, 1978. — 191 с, ил.



45 к.

В практикуме описаны лабораторные работы по химии и технологии полупроводник ков. Пособие предназначено для изучения основных методов физико-химического ис^ следования конденсированных систем (ДТА. тензиметрическне методы, построении P—T—х-диаграмм, методы микроструктурного анализа и микротвердости), различии* методов синтеза, кристаллизационной очистки и выращивания монокристаллов полуї проводниковых соединений, а твюке знакомит с основными технологическими опера* циями в производстве полупроводниковых приборов (окисление, диффузия, эпитаксня, травление).

В каждой работе дано теоретическое введение, приводятся схемы приборов и обо* рудоваиия, методы количественной обработки экспериментальных результатов. 20507-340 век 2U

001(01)-78 540:539.«

© Издательство Высшая школа, 1978

ПРЕДИСЛОВИЕ

В настоящем практикуме описаны экспериментальные работы по химии и технологии полупроводников. Этот практикум базируется на лекционных курсах по основам физики полупроводников, физико-химическому анализу полупроводников (с изложением основ термодинамики растворов и гетерогенных равновесий), химии твердого тела и полупроводников, химии кремния, а также технологии полупроводниковых материалов и приборов, которые читаются в течение ряда лет на кафедре общей и неорганической химии Воронежского ордена Ленина государственного университета им. Ленинского комсомола.

При выполнении практических работ студенты знакомятся с основными методами физико-химического исследования полупроводниковых систем, синтеза и очистки полупроводниковых материалов и, кроме того, с основными технологическими процессами, используемыми при изготовлении полупроводниковых приборов. Каждая работа содержит теоретическое введение, в котором конкретизируется материал, изложенный в соответствующих лекционных курсах, что позволяет проанализировать результаты эксперимента с теоретических позиций. Материал, представленный в этой части, дан в сжатой форме и поэтому для углубленного его усвоения необходимо использовать литературу, список которой приводится в конце работ.

Перед началом работы студенты должны сдать коллоквиум, предварительно изучив теоретическую часть и материал, освещенный в рекомендованной литературе. По окончании работы необходимо представить письменный отчет в рабочей тетради в соответствии с приве- . денной формой (в конце каждой работы).

Объекты исследования, предлагаемые в работах, выбраны с учетом их физико-химических свойств и требований техники безопасности при работе в учебных лабораториях (сравнительно невысокие температуры плавления и давление пара). Кроме того, авторы старались использовать, по возможности, недавно изученные соединения, свойства которых представляют определенный интерес. Поэтому наряду с классическими полупроводниковыми материалами (германий, кремний, соединения типа AnlBv ) рекомендуются такие фазы, как CuP2, GeAs, Bi2Te3, и др. Для некоторых же традиционных материалов предлагаются нетрадиционные методы синтеза (например, синтез GaP из расплава в висмуте). Это позволяет повысить интерес студентов к практическим занятиям, расширить их кругозор и внести эле-менты исследовательской работы в учебный процесс. В зависимости от специфики научных исследований кафедры и возможностей учебной лаборатории могут быть использованы и другие объекты с аналогичными свойствами.

3

Технологические процессы изучаются в самой общей форме, поскольку в условиях учебной лаборатории невозможно воспроизвести детально все приемы, используемые при осуществлении основных технологических операций на производстве. Тем не менее с принципами базовой технологии студенты достаточно полно знакомятся в ходе выполнения предлагаемых лабораторных работ.

Лаборатория,предназначенная для выполнения практикума, должна быть соответствующим образом оборудована. В ней необходимо организовать специализированные участки: вакуумный участок с газовой Горелкой для стеклодувных и кварцедувных работ; участок травления с местной вытяжной вентиляцией; термический участок, в котором сосредоточены печи для одно- и двухтемпературного синтеза, диффузии и других работ, требующих применения высоких температур; • участок механической шлифовки и полировки образцов; участок физико-химических методов анализа, где расположены пирометрические установки, аппаратура для изучения давления диссоциации и т. п., а также участок физико-химических исследований и электрофизических измерений, где проводится изучение микроструктуры, измерение микротвердости, определение удельного сопротивления, термо-э.д.с,
< 1 > 2 3 4 5 6 7 .. 81 >> Следующая

Авторские права © 2011 BooksOnChemistry. Все права защищены.
Реклама