Главное меню
Главная О сайте Добавить материалы на сайт Поиск по сайту Карта книг Карта сайта
Книги
Аналитическая химия Ароматерапия Биотехнология Биохимия Высокомолекулярная химия Геохимия Гидрохимия Древесина и продукты ее переработки Другое Журналы История химии Каталитическая химия Квантовая химия Лабораторная техника Лекарственные средства Металлургия Молекулярная химия Неорганическая химия Органическая химия Органические синтезы Парфюмерия Пищевые производства Промышленные производства Резиновое и каучуковое производство Синтез органики Справочники Токсикология Фармацевтика Физическая химия Химия материалов Хроматография Экологическая химия Эксперементальная химия Электрохимия Энергетическая химия
Новые книги
Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 2" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 1" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 12" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 11" (Журналы)

Петрянов-соколов И.В. "Научно популярный журнал химия и жизнь выпуск 10" (Журналы)
Книги по химии
booksonchemistry.com -> Добавить материалы на сайт -> Промышленные производства -> Анохин В.3. -> "Практикум по химии и технологии полупроводников" -> 75

Практикум по химии и технологии полупроводников - Анохин В.3.

Анохин В.3., Гончаров Е. Г., Кострюкова Е. П., Маршакова Т. А. Практикум по химии и технологии полупроводников: учебное пособие — M.: «Высшая школа», 1978. — 191 c.
Скачать (прямая ссылка): poluprovodniki.djvu
Предыдущая << 1 .. 69 70 71 72 73 74 < 75 > 76 77 78 79 80 .. 81 >> Следующая


166

Литература

Болтакс Б. И. Диффузия в полупроводниках. Физматгиз, 1961.

Гаврилов Р. А., Скворцов А. М. Технология производства полупроводниковых приборов. - Энергия, 1968, с. 90—128, 196—203.

Курносое А. И., Юдин В. В. Технология производства полупро-. водииковых приборов. Высшая школа, 1974, с. 128—173.

Новиков В. В. Теоретические основы микроэлектроники. Высшая школа, 1972, с. 77—105.

Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия. Под ред. Р. БургеранР. Донована. Мир, 1969, с. 1?6— 332.

ПРИЛОЖЕНИЕ

.Таблица I

Зависимость давления насыщенного пара мышьяка от температуры

t. °С
Р. атм
J t, "С
Р, атм
t, °С
Р. атм

450
0.026
658
2,392
'772
16,9

500
.0.076
665
2,717
790
22,3

525
- 0,105
672
3,035
801
26,1

550
0,222
685
3,906
815
33,6

568
0,362
697 -
4,85
817
35,7

604
0,785
720,5
¦ 6,95
830
38,1

615,5
' 0,997
741
9,7
843
40,5

631
1,395
758
13,35
850
41,6


853
42,2

'gPAs4 <мм Рт- ст> lgPAst (мм рт. СТ.)

11,160

.6,681

7357 Г,К 2450 7\К

(As твердый);

(As жидкий);

пл. 8170C; давление при температуре плавления 35,7 атм; ДЯсубл = 143,3 кДж/моль (34,28 ккал/моль) АНИСП =¦ 47,3 кДж/моль (11,31 ккал/моль ), АНИСП => 24 кДж/г-атом As (574 ккал/г-атом As).

Таблица і

Зависимость давления насыщенного пара красного фосфора от температуры

t, °С

308,5

346

379,5

408,5

433,5

450,5

463,5

Р, атм

t, °С

0,03 0,11 0,33 0,77 1,52 2,34 3,22

Р. атм

t, °G

Р, атм

472,5

486,5

505

515

522,5

561

578

3,99 5,51 8,29 10,26 11,98 25,5 34,96

581

587,5

588

589

589,5

593

36,90

41,38

41,77

42,5

42,9

44,2

t, 0C

602

606,5

608

621

625,5

627,5

632

Р. атм

47,0 48,6 49,0 53,9 55,6 56,7 58.6

Ig Pp4 (мм рт. ст.)

7952,9 Г,К

+ 34,148 (P твердый);

А #Субл ¦= 152.6 кДж/моль (36,5 ккал/моль). т. пл.==589,5°С, давление при температуре плавления 42,9 атм.

168

ТаблицаЗ

Коэффициенты распределения некоторых примесей в InSb

Прымесь
Коэффициент распределения
Примесь -
Коэффициент распределения
Примесь
Коэффициен» распределения








Cu Ag Au Zn Cd Ga
6,6-кг*
4,9- КГ»
1,9-10-«
2,3
0,26
2,4
Tl
Ge
Sn-
P
As
S
5,2-10-*
0,045
0,057
0,16
5,4
0,1
Se Те Fe Ni
0,35 1
0,04
6-ю-*

Таблица 4

Определение толщины пленок SiO2 методом цветовых оттенков Ньютона

.й, мкм - Оттенок

0,0500 . Бежевый

0,0700 Коричневый •

0,0960 Темно-коричнево-красный

0,1020 Индиго

0,1433 Голубовато-серый

0,1500 Светло-голубой

0,1688 Зелено-голубой

0,1700 Металлический

0,1786 I Бледно-зеленый

0,1836 Желто-зеленый

0,1883 " * Светло-зеленый

0,1916 Зелено-желтый

0,1963 Золотисто-желтый

0,2000 Светло-золотистый

0,2200 ' . Золотистый

0,2216 Оранжевый

0,2490 Светло-красный

0,2500 " Красиый

0,2700 Красио-фиолетовый

0,2753 Пурпурный

0,2810 " Пурпурно-фиолетовый

0,2886 Фиолетовый

0,3000 Фиолетово-голубой

0,3033 Индиго

0,3100 - Голубой

0,3160 Темно-голубой

0,3200 Зелено-голубой

0,3400 . Светло-зеленый

0,3500 * II Зеленый

0,3760 Желтовато-зеленый

0,3830 - Грязно-зеленый

0,3900 Желтый

0,4100 Светло-оранжевый

169

Продолжение

h. MKIi Оттенок

I

0,4193 Телесный

0,4200 Темно-розовый

0,4400 Красный

0,4476 • Фиолетово-красный

0,4586 Фиолетовый

0,4600 Красно-фиолетовый

0,4757 Голубовато-фиолетово-серый

0,4800 Голубовато-фиолетовый

0,4900 Голубой

0,4983 Зелено-голубой

0,5000 . Голубовато-зеленый

0,5200 . Зеленый

0,5403 Тускло-зеленый

0,5526 III Желто-зеленый

0,5606 Зелено-желтый

0,5703 , Желто-серый

Oj 5800 ' Светло-оранжевый

0,5813 Сиреневато-серовато-красиый

0,6000 Темно-розовый

0,6088 Карминово-красный

0,6300 . Фиолетово-красный ,

0,6423 .Серовато-красный

0,6690 Голубовато-серый

0,6800 Голубоватый

0,6826 Голубовато-зеленый

0,7200 IV Зеленый

0,7700 Желтоватый . "

0,7793 . Бледно-розовый

0,8000 Оранжевый

0,8200 > Желтовато-розовый

0,8500 " Светло-красновато-фиолетовый '

0,8600 Фиолетовый

0,8700 Голубовато-фиолетовый

0,8893 Бледно-зелено-голубоватый

¦ 0,8900 , V Голубой

0,9200 Голубовато-зеленый

0,9500 Желто-зеленый

0,9700 ' Желтый -

Исходные даииые для определения заряда и плотности состояний на границе Sl—SI02

Для выбора требуемой теоретической С—V-кривой (рис. 2) -необходимо виать тип проводимости и удельное сопротивление кремниевой подложки, а также толщину слоя окисла'в исследуемой МОП-структуре. По рис. 1 определяют концентрацию примеси в подложке. Выделив определенную группу теоретиче-

170

ских С—V-кривых (с Na = 1014, Ю16, 1018 см-3) (рис. 1), находят соответствующую по толщине окисла кривую.
Предыдущая << 1 .. 69 70 71 72 73 74 < 75 > 76 77 78 79 80 .. 81 >> Следующая

Авторские права © 2011 BooksOnChemistry. Все права защищены.
Реклама