Главное меню
Главная О сайте Добавить материалы на сайт Поиск по сайту Карта книг Карта сайта
Книги
Аналитическая химия Ароматерапия Биотехнология Биохимия Высокомолекулярная химия Геохимия Гидрохимия Древесина и продукты ее переработки Другое Журналы История химии Каталитическая химия Квантовая химия Лабораторная техника Лекарственные средства Металлургия Молекулярная химия Неорганическая химия Органическая химия Органические синтезы Парфюмерия Пищевые производства Промышленные производства Резиновое и каучуковое производство Синтез органики Справочники Токсикология Фармацевтика Физическая химия Химия материалов Хроматография Экологическая химия Эксперементальная химия Электрохимия Энергетическая химия
Новые книги
Сидельковская Ф.П. "Химия N-вннилпирролидона и его полимеров" ()

Райт П. "Полиуретановые эластомеры" (Высокомолекулярная химия)

Сеидов Н.М. "Новые синтетические каучуки на основе этилена и олефинов" (Высокомолекулярная химия)

Поляков А.В "Полиэтилен высокого давления. Научно-технические основы промышленного синтеза" (Высокомолекулярная химия)

Попова Л.А. "Производство карбамидного утеплителя заливочного типа" (Высокомолекулярная химия)
Книги по химии
booksonchemistry.com -> Добавить материалы на сайт -> Высокомолекулярная химия -> Беднарж Б. -> "Светочувствительные полимерные материалы" -> 10

Светочувствительные полимерные материалы - Беднарж Б.

Беднарж Б., Ельцов А.В., Заковал Я., Краличек Я., Юрре Т.А. Светочувствительные полимерные материалы — Л.: Химия, 1985. — 296 c.
Скачать (прямая ссылка): photopolimers.djvu
Предыдущая << 1 .. 4 5 6 7 8 9 < 10 > 11 12 13 14 15 16 .. 139 >> Следующая

где К' — комплексная экспериментальная константа.
Нетрудно экспериментально определить для конкретных полимера и растворителя значения всех констант К', Ь, р и у и при данной характеристической вязкости [х\], заданной толщине пленки резиста, выбранной постоянной частоте вращения определить нужную концентрацию полимера.
Предложена новая математическая модель для оценки основных факторов, влияющих на образование пленки резиста. В частности, оказалось, что толщина слоя определяется конвективным радиальным током раствора резиста (ранние стадии) и испарением растворителя (поздние стадии формирования слоя) [12].
При центрифугировании на раствор резиста действует две силы: центробежная, обусловленная вращением, и сила вязкостного трения [13]. В интервале вязкостей 20—400 мПа-с частота вращения центрифуги изменяется в пределах 1000—10000 об/мин. Низкая частота вращения может привести к возникновению утолщений на краях подложки, обусловленных высоким поверхностным натяжением на ее краях. Высокая частота вращения, наоборот, может это явление устранить [14]. На этом этапе важным является ускорение или время, необходимое для достижения постоянной частоты вращения.
При нанесении раствора резиста на середину неподвижной подложки раствор при ускорении разливается в виде отдельных волн, как только преодолен барьер поверхности натяжения. При нанесении на движущуюся пластину и при малых ускорениях образование волн прекращается и на краях подложки образуется утолщение. При высоком ускорении отток резиста происходит быстрее, чем испарение растворителя и существенное изменение вязкости раствора, при этом на краях не образуется утолщений и достигается наибольшая однородность. Для снижения пористости важно наносить раствор резиста на неподвижную подложку и дать возможность пузырькам воздуха выйти из него перед центрифугированием [15], а затем дать большое ускорение. Некоторые системы нанесения резистов делают возможным смачивание поверхности всей подложки перед центрифугированием.
Дефекты, возникающие при центрифугировании, можно обычно определить по тому, что они распределены радиально. Случайные дефекты бывают вызваны изменениями температурного и скоростного режима нанесения раствора, а также работой дозирующего и отсасывающего устройств. При занесении слоя резиста частицы из воздуха легко налипают на его поверхность. Центрифугирование следует проводить в абсолютно чистом помещении с совершенной системой фильтрования воздуха. Точность поддержания температуры нанесения должна быть при этом ±1°С. С этой целью подложку и раствор резиста перед нанесением следует
20
термостатировать по крайней мере в течение 24 ч. Так как при центрифугировании испаряется растворитель, необходимо, чтобы относительная влажность воздуха поддерживалась на уровне 30 ±2%. При этом исключается конденсация влаги на подложке, охлаждающейся в результате испарения растворителя. При использовании горючих органических растворителей отсасывающее устройство должно быть во взрывобезопасном исполнении.
Дозирование раствора резиста сопряжено с рядом сложностей, которые могут привести к образованию дефектов. Так как изготовитель обычно поставляет растворы резиста профильтрованными через фторопластовый фильтр с порами 0,2 мкм, перед использованием раствора фильтрование не является необходимым. Гидродинамический объем клубков макромолекул {ц/Мш) может достигать размера пор фильтров, в результате чего с ростом давления при фильтрации может происходить механическая деструкция высокомолекулярных фракций полимера. Раствор резиста не должен содержать пузырьков газов: растворенный воздух и другие газы после фильтрования обычно удаляются отстаиванием раствора в течение нескольких дней. Рекомендуется после формирования слоя резиста как можно скорее проводить сушку, чтобы исключить загрязнение посторонними частицами [16]. Нанесение в виде готовых пленок см. разд. II. 1.1.4.
1.2. ПРЕДЭКСПОЗИЦИОННАЯ ТЕРМООБРАБОТКА
Предэкспозиционная термообработка (первая термообработка, сушка, предварительная термообработка) необходима для придания однородности пленке резиста по всей поверхности и обеспечения ее хорошей адгезии. Сушка является важной технологической операцией, оптимизация которой снижает брак.
В большинстве полимерных резистов используются аморфные полимеры, физико-химические свойства которых определяются кон-формацией полимерной цепи или ее сегментов. Молекулярное движение полимерной цепи или ее сегментов зависит от температуры. При повышенных температурах возрастает число степеней свободы цепей, что может вызвать течение, и полимер ведет себя как вязкая жидкость. При понижении температуры движение сегментов полимерной цепи уменьшается, а при температуре стеклования Тс полностью прекращается. Ниже Тс полимерный материал приобретает характеристики стекла. Подобное явление наблюдается и у неорганических полимеров, например у силикатного стекла. Тс определяется подвижностью и гибкостью полимерной цепи и до некоторого предельного значения ММ полимера является характеристикой материала. Так как подвижность сегментов полимерной цепи связана со сменой конформации и зависит от времени, то конформация полимерной цепи никогда не является равновесной: для достижения равновесия необходимо бесконечно большое время.
Предыдущая << 1 .. 4 5 6 7 8 9 < 10 > 11 12 13 14 15 16 .. 139 >> Следующая

Авторские права © 2011 BooksOnChemistry. Все права защищены.
Реклама