Главное меню
Главная О сайте Добавить материалы на сайт Поиск по сайту Карта книг Карта сайта
Книги
Аналитическая химия Ароматерапия Биотехнология Биохимия Высокомолекулярная химия Геохимия Гидрохимия Древесина и продукты ее переработки Другое Журналы История химии Каталитическая химия Квантовая химия Лабораторная техника Лекарственные средства Металлургия Молекулярная химия Неорганическая химия Органическая химия Органические синтезы Парфюмерия Пищевые производства Промышленные производства Резиновое и каучуковое производство Синтез органики Справочники Токсикология Фармацевтика Физическая химия Химия материалов Хроматография Экологическая химия Эксперементальная химия Электрохимия Энергетическая химия
Новые книги
Сидельковская Ф.П. "Химия N-вннилпирролидона и его полимеров" ()

Райт П. "Полиуретановые эластомеры" (Высокомолекулярная химия)

Сеидов Н.М. "Новые синтетические каучуки на основе этилена и олефинов" (Высокомолекулярная химия)

Поляков А.В "Полиэтилен высокого давления. Научно-технические основы промышленного синтеза" (Высокомолекулярная химия)

Попова Л.А. "Производство карбамидного утеплителя заливочного типа" (Высокомолекулярная химия)
Книги по химии
booksonchemistry.com -> Добавить материалы на сайт -> Высокомолекулярная химия -> Беднарж Б. -> "Светочувствительные полимерные материалы" -> 110

Светочувствительные полимерные материалы - Беднарж Б.

Беднарж Б., Ельцов А.В., Заковал Я., Краличек Я., Юрре Т.А. Светочувствительные полимерные материалы — Л.: Химия, 1985. — 296 c.
Скачать (прямая ссылка): photopolimers.djvu
Предыдущая << 1 .. 104 105 106 107 108 109 < 110 > 111 112 113 114 115 116 .. 139 >> Следующая

Чувствительность сополимера гл_ицидилметакрилата с этилакрилатом (70 : 30; Mw = 160000; Mw/Mn = 2,3), обозначаемого СОР, Dr°.5 = 3,2-10-7 Кл/см2, у= 1,0 [95]. По данным ДТА сополимер при нагревании структурируется, поэтому температура предварительной термообработки рекомендована в интервале 60—75°С, продолжительность термообработки 3—15 мин. При проявлении в метилэтилкетоне наблюдали деструкцию возникших структур из-за набухания сшитого полимера. Эта деструкция была подавлена при проявлении в смеси метилэтилкетона с этанолом (5:2). Температура доотверждения рекомендована в пределах 100—150°С. Испытания показали очень хорошие литографические свойства СОР как при изготовлении хромовых масок, так и в некоторых случаях при прямом экспонировании на кремниевых подложках [96]. Минимальный размер элементов в технологических процессах составляет 1 мкм. Существенным недостатком при использовании этого сополимера для прямого экспонирования на кремниевых подложках является его низкая температура стеклования (Тсж 10°С), что на стадиях обработки при повышенной температуре ведет к деструкции образованной структуры. СОР стал первым промыш-ленно производимым электронным резистом, предназначенным для производства хромовых масок. Подобные резисты запатентованы в ФРГ [пат. ФРГ 2543553, 2849996, 2450381].
В европ. пат. WO 82/01847 в качестве негативного рентгеноре-зиста с отличной разрешающей способностью описана смесь поли-2,3-дихлор-1-пропилакрилата с сополимером глицидилметакрилата с этилакрилатом.
248
В электронорезистах протекают различные пострадиационные реакции, вызванные возникшими радикалами, которые оказывают влияние на стабильность размеров скрытого изображения в пленке резиста после экспонирования. Эти реакции можно подавить введением подходящего ингибитора [пат. США 4279986]. Так, сополимер глицидилметакрилата с этилакрилатом (ММ 260 000) экспонировали дозой 3,1 • Ю-7 Кл/см2 при 20 кВ. После экспозиции пластинку выдерживали разное время в вакууме, а затем проявляли смесью метилэтилкетона с этанолом (5:2) в течение 90 с. Если проявление осуществлялось через 70 ч после экспонирования, толщина слоя резиста была в 2 раза больше, чем при проявлении непосредственно после экспонирования. Та же зависимость наблюдалась и для ширины линий рельефа. В случае добавления к резисту 5% 1,1-дифенил-2-пи-крилгидразила экспозиционную
Рис. VII. 19. Зависимость 0(х) от состава сополимера глицидилметакрилата с бутадиеном.
О 20 60 100
Содержание глицидилметакрилата, %(шл)
дозу необходимо было повысить до 5,4-Ю-7 Кл/см2; зато через 70 ч толщина проявленной пленки увеличилась примерно на 10 /о, а ширина линий — примерно на 18%.
Сополимер глицидилметакрилата или глицидилакрилата с бутадиеном содержит как эпоксигруппу, так и двойные связи. При определении чувствительности к ионизирующему излучению было установлено, что зависимость G(X) от состава полимера имеет максимум при содержании в сополимере 25 % (мол.) глицидилметакрилата [75] (рис. VII. 19). Значения Di изменялись в интервале 0,5-Ю-7—4-Ю-7 Кл/см2 в зависимости от состава и ММ полимера.' Ниже приведены свойства двух сополимеров глицидилметакрилата с бутадиеном равного состава:
Содержание глицидилметакрилата, % (мол.)
Содержание ненасыщенных звеньев 1,2-1,4-
/)°'7 -Ю6, Кл/см*
при 10 кВ
при 15 кВ \ при 10 кВ у при 15 кВ
33,94 6,57 2,76
15,4 84,6
1,5 I.8 1,0 1,1
61,68 8,98 3,99
20,0 80,0
0,3 1,2 0,9 1,1
ДТА этих сополимеров показал, что в интервале температур 70—340 °С наблюдается структурирование за счет двойных связей. При 340—500°С протекает постепенная деструкция сополимера. Сушку сополимера рекомендуется проводить при температурах до 50 °С, доотверждение — при 140—250 °С. Проявление в термодина-
247
мически хорошем растворителе (бензол, тетрагидрофуран, 1,4-ди-оксан) ведет к сильному набуханию сшитого резиста и в результате к разрушению линий рельефа, чего, однако, можно избежать при проявлении в смеси бензол —гептан, когда набухание сводится к минимуму (рис. VII. 20). Разрешающая способность резиста при толщине 0,5—0,7 мкм составляет приблизительно 1 мкм.
Серьезным недостатком всех приведенных выше эпоксидных негативных электронорезистов является низкая температура стеклования и в некоторых случаях также малая стойкость при плазменном травлении. Это вызвало необходимость создания новых
Рис. VII. 20. Микрофотографии рельефов, полученных на основе сополимера глицидилме-такрилата с бутадиеном после проявления в термодинамически хорошем Растворителе — бензоле (а) и в смесн термодинамически хорошего и плохого растворителей — беизол: гептан = 54 : 5з (в); ширина линий рельефа 3 мкм.
типов сополимеров глицидилметакрилата и глицидилакрилата, которые при сохранении чувствительности 2-10~6—6-Ю-6 Кл'/см2 при 20 кВ, рассматриваемой как предельно допустимая с точки зрения производительности электронной литографии, имели бы большую Тс и стойкость к плазменному травлению. Первыми были испытаны сополимеры со стиролом глицидилметакрилата (I) и глицидилакрилата(II) [97]:
Предыдущая << 1 .. 104 105 106 107 108 109 < 110 > 111 112 113 114 115 116 .. 139 >> Следующая

Авторские права © 2011 BooksOnChemistry. Все права защищены.
Реклама