Главное меню
Главная О сайте Добавить материалы на сайт Поиск по сайту Карта книг Карта сайта
Книги
Аналитическая химия Ароматерапия Биотехнология Биохимия Высокомолекулярная химия Геохимия Гидрохимия Древесина и продукты ее переработки Другое Журналы История химии Каталитическая химия Квантовая химия Лабораторная техника Лекарственные средства Металлургия Молекулярная химия Неорганическая химия Органическая химия Органические синтезы Парфюмерия Пищевые производства Промышленные производства Резиновое и каучуковое производство Синтез органики Справочники Токсикология Фармацевтика Физическая химия Химия материалов Хроматография Экологическая химия Эксперементальная химия Электрохимия Энергетическая химия
Новые книги
Сидельковская Ф.П. "Химия N-вннилпирролидона и его полимеров" ()

Райт П. "Полиуретановые эластомеры" (Высокомолекулярная химия)

Сеидов Н.М. "Новые синтетические каучуки на основе этилена и олефинов" (Высокомолекулярная химия)

Поляков А.В "Полиэтилен высокого давления. Научно-технические основы промышленного синтеза" (Высокомолекулярная химия)

Попова Л.А. "Производство карбамидного утеплителя заливочного типа" (Высокомолекулярная химия)
Книги по химии
booksonchemistry.com -> Добавить материалы на сайт -> Высокомолекулярная химия -> Беднарж Б. -> "Светочувствительные полимерные материалы" -> 114

Светочувствительные полимерные материалы - Беднарж Б.

Беднарж Б., Ельцов А.В., Заковал Я., Краличек Я., Юрре Т.А. Светочувствительные полимерные материалы — Л.: Химия, 1985. — 296 c.
Скачать (прямая ссылка): photopolimers.djvu
Предыдущая << 1 .. 108 109 110 111 112 113 < 114 > 115 116 117 118 119 120 .. 139 >> Следующая

255
ПММА в настоящее время является классическим позитивным электронорезистом, который в результате многочисленных работ [109], посвященных всестороннему изучению возможности его применения, рассматривается как «стандарт» при испытании не только новых электроно-, но и рентгено-резистов. ПММА может использоваться также как ионный резист [112]. Из промышленных марок ПММА наиболее широко используются в качестве ре-зистов Elvacite 2041 и 2010 фирмы Dupont (США). Слой резиста чаще всего наносят из раствора в хлор- или о-дихлорбензоле, оптимальная температура предварительной термообработки 160— 170°С. Проявление стандартизовано для смесей метилизобутил-кетона с изопропиловым спиртом в соотношении 1:1, 1:2 и 1:3. ПММА дает возможность получать рельефы субмикронных размеров.
Для повышения чувствительности синтезировали ПММА с высокой ММ и выделяли полимер с узким ММР (Mw/M„ se; 1,1), полимеры с малой ММ (Ми,<2-105) дополнительно термолизовали [110]; использовали стереотактические полимеры [франц. пат. 2394833; пат. США 3996363]. Однако при этом достигалось незначительное улучшение свойств.
Известна попытка связать чувствительность акрилатных полимеров с электроноакцепторным эффектом вводимых групп; прямая корреляция оказалась невозможной [111].
Ряд авторов пытались повысить чувствительность ПММА со-полимеризацией метилметакрилата с другими мономерами [пат. Франции 2316633] или использованием смеси ПММА с другими полимерами. Так, применяли смесь ПММА с ПВА или полиизо-пропенилацетатом [пат. США 3931435]. При введении добавок скорость растворения экспонированных участков возрастает в 8—10 раз.
Использование сополимеров метилметакрилата с 2-гидрокси-этилметакрилатом [пат. США 3535137] и с акриловой кислотой [пат. США 3984582] не дает заметного повышения чувствительности по сравнению с ПММА [см. также пат. США 4024239, 4074031], хотя по данным а. с. СССР 721794 сополимеры метилметакрилата и метакриловой кислоты в несколько раз более элек-троночувствительны, чем ПММА.
В качестве позитивных резистов описаны сополимер метилметакрилата с метакрилоилхлоридом (90: 10), показывающий чувствительность 2-Ю-5—5-Ю-7 Кл/см2 при Л?ш«=3-105 и Мт/Мп = = 1,8 [пат. ФРГ 3024522], а также сополимеры метилметакрилата с галогенароматическими эфирами метакриловой кислоты, из которых, например, сополимер с пентахлорфенилметакрилатом (1 : 1)' при 20 кВ показывает чувствительность 4-Ю-6 Кл/см2 [европ. пат. 0008787]. У сополимеров метилметакрилата с изобутиленом с ростом содержания последнего в сополимере возрастают чувствительность (сополимер с 25 % изобутилена имеет чувствительность 4,5-Ю-9 Кл/см2) и адгезия, но понижается Тс [ИЗ]. У сополимеров метилметакрилата в метилизопропенилкетоном с ростом со-
356
держания сомономера чувствительность также возрастает в пределах 0,2-10"6—Ы0~5 Кл/см2 [114]. Сополимеры испытаны для изготовления хромовых масок, а также для прямого экспонирования на кремниевых подложках.
Чувствительность сополимеров метилметакрилата с ненасыщенными кислотами (акриловой, метакриловой, кротоновой при низком содержании этих кислот составляет Ю-6—Ю-5 Кл/см2 [пат. ФРГ 2628467]. Сополимер с итаконовой кислотой (от 20 до 30%) обладает более высокой чувствительностью в качестве позитивного электронорезиста, чем ПММА; изучены и сополимеры эфиров итаконовой кислоты [115].
Описаны [пат. США 4243742; пат. ФРГ 2757932, 2757931] тройные сополимеры метакрилатов, метакрилоилхлорида и метакриловой кислоты (мольное соотношение 89:10:1). Чувствительность этих сополимеров 2- Ю-5—5- Ю-7 Кл/см2, проявление осуществляют алифатическими кетонами, доотверждение при температурах до 180°С.
Чувствительность сополимеров метилметакрилата с глицидил-метилакрилатом [пат. ФРГ 2609218] определяется содержанием глицидилметакрилата: максимум около 0,5% (мол.). Этот сополимер (мол. масса 5-Ю6) при 15 кВ показал чувствительность 5-Ю-6 Кл/см2.
Возможность улучшения свойств при использовании в качестве резиста ПММА или сополимеров метилметакрилата с метакриловой кислотой, метакриламидом или N-алкилметакриламидом состоит в нитровании около 10 % метильных групп [пат. ФРГ 2642269]. Чувствительность таких сополимеров достигает 10-5 Кл/см2.
Бариевые, кальциевые, стронциевые и другие соли метакриловой кислоты повышают чувствительность и контрастность сополимеров метилметакрилата по сравнению с ПММА. Например,'сополимер, состоящий из 90 % (мол.) метилметакрилата и 10 % (мол.) метакрилата свинца, показывает чувствительность 3-Ю-5 Кл/см2 [пат. США 4156745].
В качестве высокочувствительных позитивных резистов хорошо зарекомендовали себя Фторированные эфииы метакриловой кислоты (табл. VII. 5) (пат. США 4125672; 116]. Для производства хромовых масок используют FBM, в качестве проявителя в этом случае применяют смесь изопропилового спирта с метилизобутил-кетоном (100:0,7). FBM, однако, оказался неподходящим для прямого экспонирования на кремниевых подложках вследствие низкой Тс. Для этой цели лучше всего подходит FPM, проявляемый в смеси тех же растворителей (4: 1). Очень высокая чувствительность всех фторированных эфиров метакриловой кислоты так же, как и ПБ.МА, обусловлена быстрым растворением облученных участков резиста, поскольку значения G(S) сравнимы с аналогичными значениями ПАША: (7(5)пмма= 1,3: G(S) frm = 0,70.
Предыдущая << 1 .. 108 109 110 111 112 113 < 114 > 115 116 117 118 119 120 .. 139 >> Следующая

Авторские права © 2011 BooksOnChemistry. Все права защищены.
Реклама