Главное меню
Главная О сайте Добавить материалы на сайт Поиск по сайту Карта книг Карта сайта
Книги
Аналитическая химия Ароматерапия Биотехнология Биохимия Высокомолекулярная химия Геохимия Гидрохимия Древесина и продукты ее переработки Другое Журналы История химии Каталитическая химия Квантовая химия Лабораторная техника Лекарственные средства Металлургия Молекулярная химия Неорганическая химия Органическая химия Органические синтезы Парфюмерия Пищевые производства Промышленные производства Резиновое и каучуковое производство Синтез органики Справочники Токсикология Фармацевтика Физическая химия Химия материалов Хроматография Экологическая химия Эксперементальная химия Электрохимия Энергетическая химия
Новые книги
Сидельковская Ф.П. "Химия N-вннилпирролидона и его полимеров" ()

Райт П. "Полиуретановые эластомеры" (Высокомолекулярная химия)

Сеидов Н.М. "Новые синтетические каучуки на основе этилена и олефинов" (Высокомолекулярная химия)

Поляков А.В "Полиэтилен высокого давления. Научно-технические основы промышленного синтеза" (Высокомолекулярная химия)

Попова Л.А. "Производство карбамидного утеплителя заливочного типа" (Высокомолекулярная химия)
Книги по химии
booksonchemistry.com -> Добавить материалы на сайт -> Высокомолекулярная химия -> Беднарж Б. -> "Светочувствительные полимерные материалы" -> 14

Светочувствительные полимерные материалы - Беднарж Б.

Беднарж Б., Ельцов А.В., Заковал Я., Краличек Я., Юрре Т.А. Светочувствительные полимерные материалы — Л.: Химия, 1985. — 296 c.
Скачать (прямая ссылка): photopolimers.djvu
Предыдущая << 1 .. 8 9 10 11 12 13 < 14 > 15 16 17 18 19 20 .. 139 >> Следующая

/ — маска; 2 — область освещенности за границами маски.
могут быть получены и элементы с размерами, значительно меньшими размеров окон маски.
Когерентность источника излучения оказывает существенное влияние на качество оптического изображения как в контактном, так и в проекционном методе формирования микроизображения. При когерентном освещении меняются условия формирования изображения; в изображении складываются амплитуды светового поля, а не интенсивности, как при некогерентном освещении; возникает характерный «когерентный шум», зернистость изображения. В связи с этим возможности формирования тех или иных структур в изображении оказываются зависимыми не только от качества оптической системы, но и от фазовых соотношений в объекте, взаиморасположения, размеров и формы элементов.
Для описания указанных зависимостей наиболее целесообразно применять аппарат современной теории формирования изобра-
28
жения [31], где оптическая система, включающая и приемник излучения (например, фоторезист), рассматривается как фильтр пространственных частот. При этом объект и изображение описываются их спектрами пространственных частот, показывающими распределение комплексных амплитуд, на которые могут быть разложены функции, описывающие объект и изображение, с помощью преобразования Фурье.
Передача совокупной оптической системой, состоящей из объекта, источника излучения, объектива, фотоприемника и других
Рнс. I. 8. Распределение интенсивности света / , обусловленное дифракцией света от маски с прозрачными и непрозрачными областями (решетки):
/ — свет; 2 — маска; 3 — резнет; 4 —подложка; Ь — период решетки; Пространство
между подложкой и маской; штриховой линией обозначено идеальное распределение интенсивности света / по ширине окон в маске в отсутствие дифракции, сплошной линией показано реальное распределение интенсивности в результате дифракции.
Рнс. I. 9. Оптическая передаточная функция (ОПФ) системы для разных факторов когерентности:
/ — а в 0; 2 — а = 0,7; 3 — о =« °°; V — пространственная частота.
элементов, тонкой структуры объекта рассматривается при этом как последовательная фильтрация спектра пространственных частот и характеризуется оптической передаточной функцией (ОПФ), которая в общем случае является комплексной величиной. Д1одуль ОПФ называется частотно-контрастной характеристикой (ЧКХ); иногда его называют функцией передачи модуляции (ФПМ). Типичный вид ОПФ (ЧКХ) приведен на рис. 1.9. ЧКХ называют также коэффициентом передачи контраста, так как для каждой данной пространственной части объекта V ЧКХ равна отношению контраста изображения к' к контрасту объекта
А(у)=к'1к (т. 9)
Контраст же объекта определяется отношением:
0 макс I мин)/(^ макс + /мин) (1.10)
где /— интенсивность света.
Пространственная частота, при которой А = 0, и определяет разрешающую способность. Для фотолитографической системы,
29
характеризующейся некоторым порогом восприятия контраста бк, разрешающая способность Я может быть определена как:
Ц = 1Ш1{2ч„ор) (1.11)
где Vпop соответствует величина А ^пор) = б/г.
Аппарат ОПФ (ЧКХ) удобен для описания сложных фотолитографических систем, так как передаточная функция (результирующая ЧКХ) определяется произведением ЧКХ отдельных составляющих элементов оптической системы.
Случай полностью когерентного и некогерентного излучения встречается редко, на практике всегда наблюдается частично когерентное освещение. Оно имеет место даже при полном согласовании апертур осветительной системы и объектива, т. е. при полном заполнении входного зрачка объектива. При уменьшении степени заполнения зрачка степень когерентности б увеличивается, а при заполнении зрачка в виде точки освещение приближается к когерентному случаю. Этим приемом начинают пользоваться на практике при конструировании современной фотолитографической аппаратуры, причем стремятся выбрать оптимальное заполнение зрачка, оптимальную степень когерентности [32].
В ряде систем проекционной литографии принято оопт = 0,7, что, с одной стороны, повышает крутизну пограничной кривой,' дает при некоторых заданных пространственных частотах большие значения ОПФ (ЧКХ), а с другой стороны, еще не приводит к значительным осцилляциям интенсивности (что может, например, дать оконтуривание изображения — «двойной край»), резонансным эффектам, характерным для когерентного освещения. Учет подобных эффектов, ограничивающих возможности фотолитографии, становится особенно важным при использовании лазеров в качестве источников излучения для формирования микроизображений [33]. При использовании лазеров в качестве мощных источников монохроматического излучения основной проблемой является именно уменьшение когерентности, существенно ухудшающей («когерентный шум») качество изображения и приводящей к резонансным эффектам в изображении, что особенно опасно при передаче сложной конфигурации. Снижение пространственной когерентности излучения может быть осуществлено различными способами—от временного усреднения путем вращения рассеивающих компонентов или сканирования по зрачку [33] объектива до создания специальных, например эксимерных, лазеров, дающих некогерентное излучение [21, 34].
Предыдущая << 1 .. 8 9 10 11 12 13 < 14 > 15 16 17 18 19 20 .. 139 >> Следующая

Авторские права © 2011 BooksOnChemistry. Все права защищены.
Реклама