Главное меню
Главная О сайте Добавить материалы на сайт Поиск по сайту Карта книг Карта сайта
Книги
Аналитическая химия Ароматерапия Биотехнология Биохимия Высокомолекулярная химия Геохимия Гидрохимия Древесина и продукты ее переработки Другое Журналы История химии Каталитическая химия Квантовая химия Лабораторная техника Лекарственные средства Металлургия Молекулярная химия Неорганическая химия Органическая химия Органические синтезы Парфюмерия Пищевые производства Промышленные производства Резиновое и каучуковое производство Синтез органики Справочники Токсикология Фармацевтика Физическая химия Химия материалов Хроматография Экологическая химия Эксперементальная химия Электрохимия Энергетическая химия
Новые книги
Сидельковская Ф.П. "Химия N-вннилпирролидона и его полимеров" ()

Райт П. "Полиуретановые эластомеры" (Высокомолекулярная химия)

Сеидов Н.М. "Новые синтетические каучуки на основе этилена и олефинов" (Высокомолекулярная химия)

Поляков А.В "Полиэтилен высокого давления. Научно-технические основы промышленного синтеза" (Высокомолекулярная химия)

Попова Л.А. "Производство карбамидного утеплителя заливочного типа" (Высокомолекулярная химия)
Книги по химии
booksonchemistry.com -> Добавить материалы на сайт -> Высокомолекулярная химия -> Беднарж Б. -> "Светочувствительные полимерные материалы" -> 23

Светочувствительные полимерные материалы - Беднарж Б.

Беднарж Б., Ельцов А.В., Заковал Я., Краличек Я., Юрре Т.А. Светочувствительные полимерные материалы — Л.: Химия, 1985. — 296 c.
Скачать (прямая ссылка): photopolimers.djvu
Предыдущая << 1 .. 17 18 19 20 21 22 < 23 > 24 25 26 27 28 29 .. 139 >> Следующая

Взаимодействие между растворителем и полимером может быть оценено с помощью параметра Флори — Хаггинса х> зависящего от температуры:
х = у1(5,-б2)2(^Г)-1 + Р (1.20)
где эмпирический член р имеет значение около 0,35 и отвечает энтропийной компоненте параметра \'\ — молярный объем растворителя; 6i и 6i — параметры растворимости растворителя и полимера.
Значения параметров растворимости растворителей и полимеров табулированы и их можно использовать для выбора растворителя или нерастворяющего вещества для полимера данного типа [10]. Для растворения полимера необходимо, чтобы разность 62 — 6i была меньше 25% их абсолютных значений. Параметры растворимости типичных растворителей и полимеров приведены ниже:
Полимеры
6, (МДж/м3)0'5 6, (МДж/м3)0-5
Политетрафторэтилен 12,7 Полиметилметакрилат
Политрифторхлорэтилен 14,7 Поливинилацетат 19,2
Полидиметилсилоксан 15,5 Полихлоропрен 19,2
Полиизобутилен 15,9 Поливинилхлорид 19,4
Полиэтилен 16,5 Полиэтилентерефталат 21,8
Полиизопрен 16,5 Поли(винилиденхлорид) 24,9
Полифенилметил- 18,4 Полиакрилонитрил 25,9
силоксан Поли-е-капролактам 27,7
Полистирол 18,6
49
Растворители
6, (МДж/м5)0-5
Перфторироваииые насыщенные углеводороды 10,6- -11,4
Перфорированные ароматические углеводороды 15,7- -16,5
Насыщенные углеводороды 14,3- -16,3
Ароматические углеводороды 17,3- -18,8
Галогеиуглеводороды 17,3- -20,4
Кетоиы 18,4- -20,4
Сложные эфиры 18,4- -22,4
Карбоиовые кислоты 20,4- -26,5
Спирты 20,4- -30,6
Растворение линейных аморфных полимеров в отличие от низкомолекулярных веществ начинается с набухания [76]. Молекулы растворителя проникают в полимерную структуру посредством диффузии и образуют набухший поверхностный слой между растворителем и исходным полимером. В случае позитивных резистов достигается минимальная деформация рельефа из-за слабого набухания области, соседней с экспонированной, которая удаляется растворителем. В случае негативных резистов желательно минимальное набухание облученных областей при экстракции растворимой фракции (золя) полимера из структурированной нерастворимой фракции (геля). В результате набухания и увеличения объема полимера происходит распрямление макромолекул и диффузия сольватированных полимерных клубков в растворитель. Скорость набухания и растворения уменьшается с ростом ММ полимера. Коэффициент диффузии оказывает влияние на кинетику растворения, а термодинамический параметр растворимости — на толщину набухшего слоя [77]. Скорость растворения и степень набухания определяются концентрационной зависимостью коэффициента диффузии растворителя в полимер [78]. Факторы, определяющие подвижность растворителя в полимерной матрице (тактичность, и характер термообработки полимера, размер молекул растворителя), влияют на растворимость полимера нередко больше, чем его ММ [79].
Существенное влияние на проявление негативного резиста оказывают температура и наличие влаги в растворителе [4]. Еще сильнее это проявляется у позитивных резистов, для большинства которых добиваются различной растворимости экспонированных и неэкспонированных полимерных слоев с одинаковой ММ. Присутствие воды в растворителях при проявлении негативных резистов может стать причиной возникновения вуали, особенно на поверхности диоксида кремния, который адсорбирует воду в процессе проявления в местах, где локальная концентрация полимера в проявляющем растворе как раз наибольшая. Промышленные растворители, такие, как ксилол и бензин, имеют непостоянное содержание воды, но и относительно «сухие» растворители могут абсорбировать влагу из воздуха. Избирательная сорбция воды может приводить к ее диффузии в сшитые участки слоя резиста и к поверхности диоксида кремния и снижать тем самым адгезию этих слоев.
60
Проявление двухкомпоиеитиых позитивных фоторезистов осложняется набуханием не сильно потому, что алкилиоволаки, которые образуют основную часть слоя, иизкомолекуляриы и растворяются в основаниях послойно с минимальным иабухаиием поверхностного слоя. Это одна из причин, по которой у позитивных фоторезистов хииоидиазидного типа достигается высокое разрешение. Оптимальная концентрация проявителя определяется скоростью растворения экспоиироваииого резиста при разных концентрациях оснований.
Иоиы металлов, входящие в состав проявителя, могут адсорбироваться иа поверхности подложки и при последующей термодиффузии примесей в подложку вызывать дефекты полупроводниковых структур. Для сверхбольших интегральных схем отрицательное влияние удерживания подвижных ионов металлов особенно велико и повышается с ростом плотности элементов схемы. Поэтому необходимо, чтобы максимальное содержание ионов Na+ и К+ в ре-зисте составляло 0,2—5 млн-1. Поскольку проявление позитивных резистов проводится растворами щелочей, требуется хорошая промывка подложки после проявления. Заметна тенденция использовать растворители, не содержащие ионов металлов, и для проявления позитивных резистов, так как при ^этом меньше вносится всевозможных загрязнений. Примером таких проявителей могут служить MF-314 Shipley, а также системы иа основе водных растворов аминов [2] и смесей этаноламииов с глицерином [79].
Предыдущая << 1 .. 17 18 19 20 21 22 < 23 > 24 25 26 27 28 29 .. 139 >> Следующая

Авторские права © 2011 BooksOnChemistry. Все права защищены.
Реклама