Главное меню
Главная О сайте Добавить материалы на сайт Поиск по сайту Карта книг Карта сайта
Книги
Аналитическая химия Ароматерапия Биотехнология Биохимия Высокомолекулярная химия Геохимия Гидрохимия Древесина и продукты ее переработки Другое Журналы История химии Каталитическая химия Квантовая химия Лабораторная техника Лекарственные средства Металлургия Молекулярная химия Неорганическая химия Органическая химия Органические синтезы Парфюмерия Пищевые производства Промышленные производства Резиновое и каучуковое производство Синтез органики Справочники Токсикология Фармацевтика Физическая химия Химия материалов Хроматография Экологическая химия Эксперементальная химия Электрохимия Энергетическая химия
Новые книги
Сидельковская Ф.П. "Химия N-вннилпирролидона и его полимеров" ()

Райт П. "Полиуретановые эластомеры" (Высокомолекулярная химия)

Сеидов Н.М. "Новые синтетические каучуки на основе этилена и олефинов" (Высокомолекулярная химия)

Поляков А.В "Полиэтилен высокого давления. Научно-технические основы промышленного синтеза" (Высокомолекулярная химия)

Попова Л.А. "Производство карбамидного утеплителя заливочного типа" (Высокомолекулярная химия)
Книги по химии
booksonchemistry.com -> Добавить материалы на сайт -> Высокомолекулярная химия -> Беднарж Б. -> "Светочувствительные полимерные материалы" -> 24

Светочувствительные полимерные материалы - Беднарж Б.

Беднарж Б., Ельцов А.В., Заковал Я., Краличек Я., Юрре Т.А. Светочувствительные полимерные материалы — Л.: Химия, 1985. — 296 c.
Скачать (прямая ссылка): photopolimers.djvu
Предыдущая << 1 .. 18 19 20 21 22 23 < 24 > 25 26 27 28 29 30 .. 139 >> Следующая

Необходимо строго выдерживать время проявления, так как при длительном действии растворителя происходит растворение и неэкспонированных областей резиста. Тонкие слои резиста при использовании менее концентрированного проявителя дают пленки меньшей пористости.
Сшивание негативных резистов не изменяет химической природы полимера, т. е. у сшитого полимера сохраняется способность взаимодействовать с растворителем и набухать в местах экспонирования. Степень набухания такого полимера зависит от концентрации поперечных связей и природы растворителя, она определяется по уравнению Флори —Ренера (1.21):
1 1п(1-ф2) + ф2+Хф| V =---J7--—.- CI- 21)
V] cp2/3-2cp2f 1
где v — молярная концентрация сшивок в единице объема; ф2 — объемная доля структурированного полимера в набухшей сети; f — функциональность узлов, т. е. число цепей, выходящих из разветвления [76].
При набухании полимера значительно увеличивается его объем (до 1000—1500 %), а давление набухания, которое падает с ростом степени набухания, достигает максимального значения при низкой степени набухания (например, при набухании 0,1 % давление набухания может доходить до 103 МПа). Поэтому для снижения набухания целесообразно использовать не самые лучшие растворители, которые, однако, могут вызывать образование вуали. Следует находить компромиссное решение. В большинстве случаев необходима комбинация растворителей. У рельефов набухание может привести к контакту соседних линий при проявлении, а их взаимная адгезия — к неполному разделению при промывке и сушке. Особенно отрицательно проявляется это в потере четкости краев [15]. Влияние набухания может быть уменьшено подбором подходящих условий промывки после проявления. Для этой цели используются смеси растворителей с понижающимся значением параметра %. Этим способом можно постепенно снижать степень набухания, однако резкий переход к нерастворяющему веществу
51
может стать причиной полного разрушения рельефа в результате деформаций (свертывание и сморщивание линий).
Проявление растворителями проводится пульверизацией или окунанием [4] (последнее равносильно прополаскиванию [80]). При проявлении по способу фирмы National Hunt Puddle Process (США) кассеты с подложками с нанесенным резистом помещают в непрерывно проявляющее устройство. Кассеты последовательно вводят в центрифуге в поток свежего проявителя, причем кассеты сначала неподвижны. Проявитель WX-108 моментально покрывает всю подложку, что исключает временные изменения при проявлении, наблюдаемые при окунании. После действия проявителя в течение нескольких секунд кассета с подложками центрифугируется при малой частоте вращения, а затем промывается при центрифугировании водой. В заключение проводится центрифугирование при большой частоте вращения, после чего кассету с высушенными подложками помещают в сушилку для доотверждения. На подобном принципе работают и проявляющие устройства фирмы Fuji (Япония) [81].
Однако для получения хорошо воспроизводимых схем с субмикронными размерами элементов каждую пластину обрабатывают в отдельности, используя специальные поточные линии.
Пульверизация обычно дает лучшие и более воспроизводимые результаты, так как имеется возможность лучшего контроля времени и температуры, непрерывно используется чистый растворитель, который можно при этом фильтровать. Расход растворителя и пожароопасность при пульверизации значительно выше, чем при окунании. Поэтому часто используется комбинация обоих методов. При окунании образуется набухший гель, который затем растворяется или частично смывается при промывке пульверизацией. Преимуществом окунания является однородный контакт растворителя с пленкой фоторезиста, однако контроль времени проявления менее точен, потому что эта операция обычно проводится вручную. При пульверизации необходимо правильно установить сопло, чтобы вся поверхность подложки обрабатывалась однородно. В результате испарения растворителя при пульверизации понижается температура, поэтому ее необходимо корректировать; это можно осуществлять автоматически.
Патентуется аппаратура и метод проявления резиста, при котором экспонированная пластина вводится в контакт с парами растворителя, которые конденсируются на слое резиста, проявляя рельеф (яп. пат. 58-52645).
Основным требованием воспроизводимости процесса проявления является поддержание постоянного времени действия проявителя, температуры, концентрации и состава растворов, чистоты. На этой стадии обработки резистный рельеф особенно чувствителен к загрязнениям, поэтому требуемая степень чистоты отвечает классу 100. Колебания температуры не должны превышать ±0 5°С относительной влажности воздуха ±2%. Постоянства всех параметров легче всего достичь при использовании боксов
52
Сушка рельефа после проявления и промывки обычно проводится в потоке сухого и теплого воздуха или азота в центрифуге с частотой вращения примерно 100 об/мин. Испарение растворителя понижает температуру подложки и рельефа в зависимости от типа растворителя вплоть до 10 °С, что может привести к конденсации на поверхности резиста влаги. Поэтому последнюю промывку проводят в растворителе, способном удалять воду, например изопропиловом спирте [16]. При изготовлении хромовых масок воздействие воды приводит к образованию пятен при травлении.
Предыдущая << 1 .. 18 19 20 21 22 23 < 24 > 25 26 27 28 29 30 .. 139 >> Следующая

Авторские права © 2011 BooksOnChemistry. Все права защищены.
Реклама