Главное меню
Главная О сайте Добавить материалы на сайт Поиск по сайту Карта книг Карта сайта
Книги
Аналитическая химия Ароматерапия Биотехнология Биохимия Высокомолекулярная химия Геохимия Гидрохимия Древесина и продукты ее переработки Другое Журналы История химии Каталитическая химия Квантовая химия Лабораторная техника Лекарственные средства Металлургия Молекулярная химия Неорганическая химия Органическая химия Органические синтезы Парфюмерия Пищевые производства Промышленные производства Резиновое и каучуковое производство Синтез органики Справочники Токсикология Фармацевтика Физическая химия Химия материалов Хроматография Экологическая химия Эксперементальная химия Электрохимия Энергетическая химия
Новые книги
Сидельковская Ф.П. "Химия N-вннилпирролидона и его полимеров" ()

Райт П. "Полиуретановые эластомеры" (Высокомолекулярная химия)

Сеидов Н.М. "Новые синтетические каучуки на основе этилена и олефинов" (Высокомолекулярная химия)

Поляков А.В "Полиэтилен высокого давления. Научно-технические основы промышленного синтеза" (Высокомолекулярная химия)

Попова Л.А. "Производство карбамидного утеплителя заливочного типа" (Высокомолекулярная химия)
Книги по химии
booksonchemistry.com -> Добавить материалы на сайт -> Высокомолекулярная химия -> Беднарж Б. -> "Светочувствительные полимерные материалы" -> 37

Светочувствительные полимерные материалы - Беднарж Б.

Беднарж Б., Ельцов А.В., Заковал Я., Краличек Я., Юрре Т.А. Светочувствительные полимерные материалы — Л.: Химия, 1985. — 296 c.
Скачать (прямая ссылка): photopolimers.djvu
Предыдущая << 1 .. 31 32 33 34 35 36 < 37 > 38 39 40 41 42 43 .. 139 >> Следующая

Эфир 5-сульфокислоты о-нафтохинондиази- 1,8 да и гидроксибензальдегида
НС 18
Метиловый эфир метилцелдозольва 60
Метилцеллозольв ацетат 20
Она проявляет высокую контрастность, почти не дает проколов, хранится вдвое дольше, чем не содержащая эфира гидроксибензальдегида.
II. 1.1.3. Модификация полимерного компонента резистов
НС из смеси м- и и-крезолов (1:1) и формальдегида с ММ от 1200 до 1800 синтезирована специально фирмой Agfa (ФРГ) для композиций фоторезистов [пат. ФРГ 2616992]. Фирмой Bell
8Q
(США) [пат. США 4173470] НС с ММ от 2000 до 15 000 получена конденсацией формальдегида с крезолом и грег-бутилфенолом в присутствии щавелевой кислоты. Она лучше смешивается с неполярными компонентами. Фоторезисты на ее основе обладают повышенной светочувствительностью, легче удаляются с подложки ацетоном.
Предлагается модифицировать НС моноизоцианатами в присутствии дилаурата дибутилолова при кипячении в инертном растворителе [пат. Великобритании 1546971; пат. США 4189320; франц. пат. 2309896]. Использование такой смолы в позитивном резисте вместо немодифицированной уменьшает вымывание проявителем полимерного компонента из нефотолизованных участков слоя, улучшает адгезию к подложке, механические свойства слоя. В случае же необходимых термообработок готового рельефа существенно уменьшается число проколов и других дефектов. Этой же цели достигает использование галогенированной в фенольном ядре НС [а. с. СССР 213576; европ. пат. 0059250]; растворимость ингибируют не только нафтохинондиазидом, но и системой из аце-таля или производного ортокарбоновой кислоты и вещества, генерирующего кислоту при действии света [пат. ФРГ 3107109 (см. раздел II.2.1).
Чтобы достичь хорошей механической прочности слоя на основе о-хинондиазидов, приходится увеличивать его толщину, что приводит к возрастанию абсолютного количества о-хинондиазида на подложке, а это понижает светочувствительность системы. Для уменьшения толщины слоев рекомендуется вводить в композиции различные упрочняющие полимеры, а также модифицировать их для придания слоям гибкости и эластичности.
Фирма ЗМ (США) вводит в композицию позитивного резиста с целью улучшения механических свойств слоя смесь НС и акри-латного полимера (например, сополимера 35 % стирола, 59 % этилакрилата и 6 °/о метакриловой кислоты), модифицированных полиизоцианатами в присутствии триэтилендиамина [пат. Великобритании 1474073]. С этой же целью составляют композицию фоторезиста из светочувствительного хинондиазида, НС, резола и добавок — эпоксифенольного лака и бутилироваиного стиромаля; после обычных операций и обработок получают высокотираже-устойчивую печатную форму [а. с. СССР 889486].
В резистный слой из нафтохинондиазида и НС дополнительно вводят примерно 0,04 от массы НС какой-либо полимер, например канифоль или ее производные [пат. ФРГ 2622799]. Канифоль придает печатной форме на анодированном алюминии стойкость к истиранию, улучшает и другие свойства резистных слоев [см. также пат. Великобритании 1586586; пат. США 4148664; пат. ФРГ 1622301].
Введение частично фторированного поверхностно-активного полимера в композицию делает гораздо более ровным слой резиста на подложке, улучшает его светочувствительность и повышает механические свойства резистного рельефа [пат. ФРГ 2914558].
81
Слои высокой прочности, дающие твражеустойчивые печатные формы, отличающиеся хорошим разрешением и чистотой пробельных элементов, получены путем введения в композицию резиста продукта конденсации новолака и акрилонитрил-бутадиен-сти-рольного сополимера с ММ менее 160000 [франц. пат. 2382024; пат. США 4102686].
Для повышения устойчивости слоя резиста на германии или кремнии к жестким воздействиям таких травителей, как НЫ0ЗКонц, HF + СН3СООН, Н2О2, в композицию вводят наряду с идитолом и резолом примерно 0,3 % от их массы фторопласта - 32ЛВ [а. с. СССР 547712].
НС и дополнительно вводимые другие полимеры этерифици-руют сульфокислотами нафтохинондиазидов; молярное соотношение хинондиазид: полимер от 1 : 25 до 1 : 5. Эти эфиры давно патентуются в литературе в качестве основных компонентов фоторезистов, поскольку композиции из смесей хинондиазида и полимера теряют при щелочном проявлении часть полимера, кроме того при работе с ними необходимо строго соблюдать режимы проявления и состав проявителей. Однако этерифицированные смолы из-за уменьшения числа гидроксильных групп менее активны в щелочном проявлении, у них понижена адгезия к подложке (в частности, к алюминию), что уменьшает стойкость к любым обработкам, хотя и повышена гидрофобность, а следовательно, сродство к гидрофобным краскам. В поисках оптимальных вариантов таких эфиров полимеров патентуются разнообразные смолы и условия их этерификации. Так, чешские исследователи используют в композиции смесь кре-золо-формальдегидной смолы, этерифицированной фталевой, янтарной или другой кислотой, и НС, этерифицированной 5-сульфо-кислотой диазонафталинона; получают резист, пригодный для создания печатных форм [пат. ЧССР 180405]. Тот же светочувствительный компонент в смеси с неполным ацетатом целлюлозы и крезольным новолаком создает резистный слой, стойкий к различным травителям и в гальванических ваннах [пат. ЧССР 164710].
Предыдущая << 1 .. 31 32 33 34 35 36 < 37 > 38 39 40 41 42 43 .. 139 >> Следующая

Авторские права © 2011 BooksOnChemistry. Все права защищены.
Реклама