Главное меню
Главная О сайте Добавить материалы на сайт Поиск по сайту Карта книг Карта сайта
Книги
Аналитическая химия Ароматерапия Биотехнология Биохимия Высокомолекулярная химия Геохимия Гидрохимия Древесина и продукты ее переработки Другое Журналы История химии Каталитическая химия Квантовая химия Лабораторная техника Лекарственные средства Металлургия Молекулярная химия Неорганическая химия Органическая химия Органические синтезы Парфюмерия Пищевые производства Промышленные производства Резиновое и каучуковое производство Синтез органики Справочники Токсикология Фармацевтика Физическая химия Химия материалов Хроматография Экологическая химия Эксперементальная химия Электрохимия Энергетическая химия
Новые книги
Сидельковская Ф.П. "Химия N-вннилпирролидона и его полимеров" ()

Райт П. "Полиуретановые эластомеры" (Высокомолекулярная химия)

Сеидов Н.М. "Новые синтетические каучуки на основе этилена и олефинов" (Высокомолекулярная химия)

Поляков А.В "Полиэтилен высокого давления. Научно-технические основы промышленного синтеза" (Высокомолекулярная химия)

Попова Л.А. "Производство карбамидного утеплителя заливочного типа" (Высокомолекулярная химия)
Книги по химии
booksonchemistry.com -> Добавить материалы на сайт -> Высокомолекулярная химия -> Беднарж Б. -> "Светочувствительные полимерные материалы" -> 44

Светочувствительные полимерные материалы - Беднарж Б.

Беднарж Б., Ельцов А.В., Заковал Я., Краличек Я., Юрре Т.А. Светочувствительные полимерные материалы — Л.: Химия, 1985. — 296 c.
Скачать (прямая ссылка): photopolimers.djvu
Предыдущая << 1 .. 38 39 40 41 42 43 < 44 > 45 46 47 48 49 50 .. 139 >> Следующая

О
ftv. н+, н2о ^\__/С0°Н
-у Г ]Г j] +HHal + H2S04
S02Hal
Как кислотообразователн патентуются эфиры 4-сульфокислоты 2-диазо-1-нафталинона и различных фенолов [пат. ФРГ 2944237], а главное — эфиры этой кислоты и соединений следующей формулы [пат. Великобритании 2099599]:
/С°\
но—г/ ;а \со/
где А = остатки различных циклических и нециклических группировок.
Соли арилдиазоння при фотолизе дают кислоты, отвечающие строению аниона. Особенно светочувствительны катионы диазония с я-диалкиламиногруп-пой в арильном ядре. Слабоокрашенные илн бесцветные спиропираны, например 6-нитробензоиндолино-, 1,3,3-триметилиндолино-8'-метокси-6'-нитробензо-, 6-нитро-1,3,3-триметилиндолинобензо-, 1,3,3-триметнлиндолино-|3-нафто-, бензо-Р-нафто-, ксанто-[3-бензоспиропираны и др., в слое с кислотой образуют окрашенные соли мероцианиновых красителей. Однако нередко окраски, развивающиеся при фоторазложении диазониев, недостаточно стабильны, поэтому в пат. ФРГ 3144656 предлагается вводить в слой одновременно эфир 4-сульфокислоты хинондиазида и соль диазония с анионом РР^, Вр4 и т. п., отвечающим сильной кислоте.
Многие азокрасители, в частности аминоазокрасители, например 4-диэтил-аминоазобензол [пат. Великобритании 1546971], легко меняют цвет при прото-нировании. Индикаторный азокраситель может быть получен и прн сочетании я-диалкиламиноарилдиазония с НС [пат. США 3929488] или с азотолом [пат. США 4296194]. В результате протонирования таких азокрасителей кислотой, выделившейся прн фотолизе, создается хороший контраст между экспонированными и неэкспонированными участками, а после проявления — между рельефом и подложкой. Используются также лейкосоедннения, дающие красители при протоннровании: лейко Кристаллический фиолетовый, лейко Малахитовый зеленый, гидрол Михлера; кроме того 2-метилиндол, 2,5-диметилиндол, 2-феннл-
91
индол, дифениламин [пат. США 3669658]. В пат. ФРГ 2231247 предлагается вводить в светочувствительный слой для создания печатной формы на алюминии бесцветные лактоны специально синтезированных триарилметановых красителей
где И — Я"'"= разнообразные заместители, которые после фотолиза дают голубые и фиолетовые окраски, благодаря чему элементы рисунка легко различимы. При этом светочувствительность и олеофильность системы не ухудшается.
В разработках, защищенных пат. США 4160671, 4189323, 4239850, 4350753; пат. Великобритании 1591113; заявка Великобритании 2102586; фраиц. пат. 2364489, в композицию с красным, голубым или зеленым основным красителем триарилметанового ряда, феназиновым, оксазиновым или антрахиноновым вводят галогенметильные соединения, например 6-тригалогенметил-2-пироны, 2,4,6-трис(тригалогенметил)-1,3,5-триазины, 4-(4-метоксистирил)-6- (3,3,3-трихлоропро-пенил)-2-пирон, 4-(3,4,5-триметоксистирил)-6-трихлорметил-2-пирон и др.
Аг
СС1;
где к = Н, и-С1, га-СНзО, о-СН30, га-С4Н90.
В засвеченных участках слоя наблюдается резкое понижение интенсивности окраски, изменение ее оттенка, что обеспечивает цветовой контраст прц экспонировании. При этом слой после проявления также контрастен на подложке из-за присутствия в нем красителя. Цветовой контраст улучшает использование НС, не содержащей кислоты [см., например, пат. США 4348471, США 4212970; пат. ФРГ 2851472; пат. Великобритании 1591109, яп. пат. публикация 3041 (1974)].
С помощью резистной маски удается прочно прокрасить по рисунку шаблона пористые алюминиевые пластины, нанося на них различные надписи и обозначения. Для этого на анодированном алюминии (поры размером 15 нм) проводят фотолитографию, пластину обрабатывают фосфорной кислотой, прокрашивают рельеф резиста и подложку красителем, окрашенный резист снимают [пат. США 4331479].
Улучшение проявления. В качестве проявителя экспонированных позитивных резистов на основе хинондиазидов, фенолофор-мальдегидных и других смол используют водные растворы оснований, например: 0,4%-ный раствор КОН, 3%-ный раствор Ыа3Р04; 7°/о-ный раствор метасиликата натрия; смесь из 5,5% Ыа25Ю4-•12Н20, 4% Ыа3Р04-12Н20, 0,4% ЫаН2Р04 и 90,7% Н20. Фено-лоальдегидные (кетонные) смолы с заместителями в ароматическом ядре и карбонильном остатке нерастворимы в водно-щелоч-
92
ном растворе — необходима добавка нескольких процентов органического растворителя, например монобутилового эфира этиленгли-коля, иногда ПАВ. В этой связи интересен материал пат. США 3666473, где описаны резисты с применением растворимых и нерастворимых в воде при рН 12 смол. Не найдено корреляции между структурой компонентов смолы и ее растворимостью в щелочи.
Для проявления можно использовать водные растворы азотистых оснований, например, аминоспиртов [пат. США 4093461; пат. ФРГ 2631535], четвертичных оснований,например (СН3)4Ы0Н, (С2Н5)4Ы0Н [пат. Великобритании 1367830]; особенно удобны производные аминоспиртов, например [пат. США 3141733: европ. пат. 0062733]:
СН3Й(СН2СН2ОН)зОН"; (А1кС8—С18)(СН3)М(СН2СН2ОН)2Х"
Их применяют для проявления резистов в производстве интегральных схем, когда важно отсутствие ионов металлов в растворах системы обработки. Проявление раствором, например, (НОСН2СН2)3(СНз)М+ОН~ отличает возможность варьирования продолжительности проявления, уменьшения времени экспонирования и использования неводных растворителей — пиридина, сульфолана, 1М-ме-тилпирролидона, ДМСО, ДМФА, ДМАА, улучшения контрастности, а также малая скорость истощения проявителя и минимальные потери толщины слоя [пат. США 3871930]; однако растворы проявителя недостаточно устойчивы, разлагаются, темнеют, что ухудшает их свойства. Для стабилизации этих растворов в них вводят 0,08—0,12 моль (МН4)28205 или сульфита на 1 моль основания. Сульфит присоединяется к альдегиду — продукту разложения тетраалкил-аммония, чем и предотвращает его полимеризацию, в результате раствор не темнеет, разложение замедляется [пат. США 4294911].
Предыдущая << 1 .. 38 39 40 41 42 43 < 44 > 45 46 47 48 49 50 .. 139 >> Следующая

Авторские права © 2011 BooksOnChemistry. Все права защищены.
Реклама