Главное меню
Главная О сайте Добавить материалы на сайт Поиск по сайту Карта книг Карта сайта
Книги
Аналитическая химия Ароматерапия Биотехнология Биохимия Высокомолекулярная химия Геохимия Гидрохимия Древесина и продукты ее переработки Другое Журналы История химии Каталитическая химия Квантовая химия Лабораторная техника Лекарственные средства Металлургия Молекулярная химия Неорганическая химия Органическая химия Органические синтезы Парфюмерия Пищевые производства Промышленные производства Резиновое и каучуковое производство Синтез органики Справочники Токсикология Фармацевтика Физическая химия Химия материалов Хроматография Экологическая химия Эксперементальная химия Электрохимия Энергетическая химия
Новые книги
Сидельковская Ф.П. "Химия N-вннилпирролидона и его полимеров" ()

Райт П. "Полиуретановые эластомеры" (Высокомолекулярная химия)

Сеидов Н.М. "Новые синтетические каучуки на основе этилена и олефинов" (Высокомолекулярная химия)

Поляков А.В "Полиэтилен высокого давления. Научно-технические основы промышленного синтеза" (Высокомолекулярная химия)

Попова Л.А. "Производство карбамидного утеплителя заливочного типа" (Высокомолекулярная химия)
Книги по химии
booksonchemistry.com -> Добавить материалы на сайт -> Высокомолекулярная химия -> Беднарж Б. -> "Светочувствительные полимерные материалы" -> 68

Светочувствительные полимерные материалы - Беднарж Б.

Беднарж Б., Ельцов А.В., Заковал Я., Краличек Я., Юрре Т.А. Светочувствительные полимерные материалы — Л.: Химия, 1985. — 296 c.
Скачать (прямая ссылка): photopolimers.djvu
Предыдущая << 1 .. 62 63 64 65 66 67 < 68 > 69 70 71 72 73 74 .. 139 >> Следующая

Промышленность выпускает ряд составов на основе диазида I и полиметилизопропенилкетона. Их проявляют смесью циклогек-сана и 2-нитропропана. Они обеспечивают высокое разрешение и термическую стойкость рельефа, который выдерживает плазменное травление, например CF4—02 (96:4). Разрешение и светочувствительность таких составов (например, ONNR-20) аналогичны параметрам, получаемым для позитивных фоторезистов [15].
Другой тип пленкообразующего компонента для азндсодер-жащих фоторезистов создан на основе мономерных норборне-нов. Полимеризацию их ведут с раскрытием норборненового би-или тетрацикла (в этилхлориде при 25°С в течение 4 ч) [пат США 4106943]:
¦х , Г /\
WC16-AI (C,Hg)3 __/V^^'
Л J»
X, Y = H, (CH2)„COOR, (CH2)„OCOR', (CH2)nCN, (CH2)„Z или X и Y вместе образуют следующий цикл:
СО СО
^ или ^ ^N-R"
СО со
R, R', R" = Н, Alk или Alkylen до С20, n = 0s- 10, чаще 0, 1; Z = ОН, Hal. 142
Эти полимеры термопластичны, их пленки обладают низким поверхностным натяжением, они хорошо растворимы в органических растворителях. Для придания водорастворимости слоям в полимер вводятся гидроксильные или карбоксильные группы. В качестве светочувствительных компонентов предлагается использовать, например, диазид I, 4,4'-диазидостильбен, п-фенилендиазид, 4,4'-диазидостильбен-а-карбоновую кислоту, 2,7-диазидофлюорен и пр. Таким образом, на основе полимеров с терпеновым циклом можно создать композиции фоторезистов как водного, так и органического проявления.
Повышение механической прочности слоев и их адгезии к подложкам достигается введением в слои сополимеров метакрилатов, например:
С1
п = 1000-т-2500.
Композиции очувствляются диазидом I и 4,4'-диазидостильбен-2,2'-дисульфокислотой (диазидом III) [пат. ЧССР 186630, 144618].
Для предварительно очувствленных печатных плат разработаны составы [пат. США 4139390], включающие карбонил- и сульфо-нилазиды: АгСОМ3; АгСН = СНАгСОМ3; ВСВН4502Ы3
Ar = фенил, феннлен, а- или ?-нафтил с различными заместителями; Q=0, S, Se, Na (А = Н, AlkCi—С6, ArC6 —Сю, карбалкокенл илн карбамнл); R, R'=H, Alk, ArAlk, ArAlkoxyl, Hai; R", R'" = N3 или Alk; Z = CH или N; R"" = H, Alk, ArAlk, Ас; В = Ас C2 — C5.
Они поглощают в области 280—360 нм.
Целесообразно визуализировать элементы изображения непосредственно после экспонирования. По цвету видимого изображения точнее выбирается экспозиция, облегчается проявление фоторельефа. Наибольшую сложность представляет введение красителей, не приводящее к уменьшению скорости фотосшивания. Поскольку этого трудно достичь, то технологичными считаются уже те фоторезистные композиции, в которых скорость структурирования слоя уменьшается не более, чем на порядок. Исходя из этих соображений, предлагается введение в слои лейкооснований три-фенилметановых красителей, а также производных ксантена, тио-ксантена или диметилантрацена. При экспонировании происходит фотоокисление лейкооснования красителя с окрашиванием осве-
ИЗ
щенных участков слоя. В качестве полимерной основы этих слоев обычно используют полиэфиры, поликарбонаты или полисульфо-наты, содержащие в главной цепи халконовую группировку —СН=СН—СО—. Например, предлагается для широкого применения полимер формулы:
где тип равны 1, 2 или 3, одинаковы либо различны.
Триплетные сенсибилизаторы ускоряют сшивание азидсодер-жащих полимерных матриц; кроме того, в композицию вводятся стабилизаторы, например:
I'""' | ЧГ
где Х = 0, СН2; Я, И' = Н, А1к; Р/'= О, NH; Я"', Я"" « ОН, ЫН2; Я'"" = Аг, •
Эти соединения препятствуют появлению окраски при хранении композиций, содержащих лейкооснований красителя.
Азидсодержащие фоторезисты могут быть использованы для создания контрастных фотошаблонов, защищающих от УФ-излу-чения при экспонировании светом 340—450 нм [яп. заявка 51—40452; пат. Великобритании 1475579. При этом пленка имеет прозрачную подложку, и водо- или спирторастворимый светочувствительный слой, содержащий диазид I или II, диазидо-бензилиден- или диазидоциннамалиденацетон. Содержание арил-азида в композиции должно быть достаточно высоким, чтобы после экспонирования продукты его фотолиза в слое обеспечивали оптическую плотность не менее 1 в области 340—450 нм. Для достижения оптической однородности проэкспонированного слоя возможно использование комбинации арилазидов, области поглощения которых перекрываются, В качестве полимерного связующего используется азидсодержащий полимер или смесь полимеров, например: модифицированный производными дикарбоновой кислоты сополимер бутилметакрилата, 2-гидроксиэтилгексилакрилата и 2-гидроксиэтилметакрилата (60:10:30). Кроме того добавляется Жирорастворимый розовый, 4-гидроксибензальазин. Проявляют водой с добавлением в нее моноэтаноламина и красителя, например Турецкого красного. Иногда в проявитель могут быть добавлены
144
ПАВ, например лаурилсульфат. После проявления слой ополаскивают водой, покрывают защитным слоем (раствор ПВС) и измеряют оптическую плотность. Удается, например, получить шаблон со следующей спектральной характеристикой:
Длина волиы, им 300 320 340 360—450 460 500
Предыдущая << 1 .. 62 63 64 65 66 67 < 68 > 69 70 71 72 73 74 .. 139 >> Следующая

Авторские права © 2011 BooksOnChemistry. Все права защищены.
Реклама