Главное меню
Главная О сайте Добавить материалы на сайт Поиск по сайту Карта книг Карта сайта
Книги
Аналитическая химия Ароматерапия Биотехнология Биохимия Высокомолекулярная химия Геохимия Гидрохимия Древесина и продукты ее переработки Другое Журналы История химии Каталитическая химия Квантовая химия Лабораторная техника Лекарственные средства Металлургия Молекулярная химия Неорганическая химия Органическая химия Органические синтезы Парфюмерия Пищевые производства Промышленные производства Резиновое и каучуковое производство Синтез органики Справочники Токсикология Фармацевтика Физическая химия Химия материалов Хроматография Экологическая химия Эксперементальная химия Электрохимия Энергетическая химия
Новые книги
Сидельковская Ф.П. "Химия N-вннилпирролидона и его полимеров" ()

Райт П. "Полиуретановые эластомеры" (Высокомолекулярная химия)

Сеидов Н.М. "Новые синтетические каучуки на основе этилена и олефинов" (Высокомолекулярная химия)

Поляков А.В "Полиэтилен высокого давления. Научно-технические основы промышленного синтеза" (Высокомолекулярная химия)

Попова Л.А. "Производство карбамидного утеплителя заливочного типа" (Высокомолекулярная химия)
Книги по химии
booksonchemistry.com -> Добавить материалы на сайт -> Высокомолекулярная химия -> Беднарж Б. -> "Светочувствительные полимерные материалы" -> 75

Светочувствительные полимерные материалы - Беднарж Б.

Беднарж Б., Ельцов А.В., Заковал Я., Краличек Я., Юрре Т.А. Светочувствительные полимерные материалы — Л.: Химия, 1985. — 296 c.
Скачать (прямая ссылка): photopolimers.djvu
Предыдущая << 1 .. 69 70 71 72 73 74 < 75 > 76 77 78 79 80 81 .. 139 >> Следующая

Y—COO—X
R R N3
R = Alk С, — С4, N02, CI, Alkoxyl, Acyl;
Z
Z = R', ОН, арилазогруппа; R' = H, Alk Ci — C4.
Фоторезисты используются для приготовления предварительно очувствленных офсетных печатных плат на различных подложках— алюминиевой фольге, цинке. Помимо собственно азидополи-мера светочувствительная композиция может дополнительно содержать ПММ, НС.
Среди полициануразидов находят применение [пат. США 4082556]:
Г N 1
~°R0~~ {
I
R =» 1,3-фенилеи, 1,4-феиилеи, 2,4-фенилеи, 2,7-иафтилен, 2,6-нафтилен, 2,4-нафти-лен; п=2-г 120.
Использование в качестве структурных единиц циануразидов обеспечивает еще большую по сравнению с арилазидами стабильность полимерного состава как при получении его, так и в процессе длительного хранения светочувствительной композиции. Эти композиции рекомендуются для создания масок на SIO2/SI или Si, при этом их экспонируют коротковолновым УФ-светом, травят плавиковой кислотой, достигая разрешение 0,5 мкм. Полимер используют на медной подложке, травят по рельефу раствором хлорида железа (Ш). Обычно для получения фоторельефа с помощью азидсодержащих композиций на медной подложке рекомендуется использовать светочувствительный промежуточный слой, например на основе поливинилциннамата, в рассматриваемой разработке удается обойтись без него.
159
Кроме арилазидов в азидополимерах используют также карбо-нил- и сульфонилазиды. Так, еще в 70-х годах предложен «суль-фазид», который содержит арилсульфанилазид в качестве фотоактивной группы, химически связанной с основной полимерной цепью [36]. В пат. Великобритании 14255410 предложено применять полимеры с элементарным звеном:
соои"
AOCONHCeH5.
,(S02N3)„
А =
COOR'
R = Alk С,о — С20, X; R', R" = Н, X; = Alkylen С2 — С20; m, = 1,2.
Все эти полимеры поглощают в области 260—300 им. Они растворимы в полярных растворителях, а при увеличении числа карбоксильных групп — в воде. Присутствие гидроксильных групп в боковых цепях обусловливает хорошую адгезию таких полимерных слоев к металлическим и стеклянным поверхностям. Рабочая толщина пленки рекомендуется 1 мкм.
Возможно и получение азидополимерной структуры со «встроенным» сенсибилизатором [47], при этом поглощение полимера сдвигается в видимую область. Взаимодействием сополимера малеино-вого ангидрида с метилвиниловым эфиром с 2-гидроксиэтил-4-суль-фонилазидокарбоанилатом и 2-гидроксиэтил-гранс-2,5-диметокси-стильбен-4-карбаматом синтезирован полимер:
¦NHCOC"^
-О-
Увеличение гидрофобности азидополимерных композиций может быть достигнуто использованием кремнийорганических соединений. Так, в качестве составов высокой гидрофобности были разработаны следующие кремнийсодержащие азидополимеры [яп. заявка 55—37744]:
I
R—Si—О-R'
R"
¦Si—О-- --Si—0--Si • I Jm
R
R'
n \R' О CO
==V-N Y
' = Alkylen C, — C10; Y = H, Alk, Hai, - 300.
где R — R"' = А1к, РЬ. или винил; Р' А1коху1, Ш2; т = 0~ 300; т + п •= 1
Кремнийсодержащий азидополимер является основным компонентом светочувствительной композиции, предназначенной для создания офсетных печатных форм без увлажнения,
Глава V
НЕГАТИВНЫЕ ФОТОРЕЗИСТЫ НА ОСНОВЕ ПОЛИВИНИЛЦИННАМАТОВ И ДРУГИХ ЦИКЛОДИМЕРИЗУЮЩИХСЯ СИСТЕМ
V.l. СОСТАВЫ НА ОСНОВЕ ПОЛИВИНИЛЦИННАМАТОВ
Одним из типов негативных фоторезистов, широко используемых в фотолитографической практике с начала 50-х годов, явились составы на основе поливинилциннаматов. Фотолиз а, ?-нена-сыщенных карбонильных соединений приводит к фотодимеризации с образованием циклобутанового кольца. Эта реакция обусловлена, как было показано МО-расчетами, увеличением в возбужденном состоянии электронной плотности на a.?-двойной связи [1—3]. Фотоциклодимеризация характеризуется образованием эк-симера [4].
В литературе многократно обсуждались пути и стадии циклобутанового синтеза: реакционные состояния [4—7]; взаимодействия в растворах, а также в аморфном и кристаллическом твердом состоянии; стереохимия образующихся продуктов [8—10]. Была изучена зависимость циклообразования между двойной связью синглетного и триплетного возбужденного хромофора и этиленовой связью основного состояния другой молекулы от расстояния между реакционными центрами. Циклодимеризация эффективна, если циннамоильные группы расположены параллельно и расстояние между ними не более 0,43 нм [4, 11, 12].
Квантовые выходы циклодимеризации ср для различных производных полимерных эфиров коричной кислоты составляют 0,07— 0,14 [3,4]; ниже приведены их значения для поливинилциннама-та (I), полиэфиров 4-карбоксикоричной (II) и я-фениленакрило-вой (III) кислот, поливинилциннамалиденацетата (IV), полиэфира 2,3-дифенкй-1-циклопропенилкарбоновой кислоты и ПВС (V).
IV, у = 0,07 V, у=0,09
6 Зак 554 1 61
160
Образование эксимеров характерно для полиэфиров I, II, III и незначительно для IV и V [4], однако значения квантовых выходов их фотодимеризации не сильно различаются.
В полимерах весьма заметна роль стерических препятствий циклодимеризации; при облучении поли-я-винилфенилэтилцинна-мата скорость исчезновения в нем двойных связей значительно больше, чем в поливинилциннамате, выше и интегральная светочувствительность этого полимера [13]. Судя по спектрам фосфоресценции модельных соединений — этилциннамата и фенил-этилциннамата, — время жизни последнего в триплетном состоянии вдвое больше. Различия во временах жизни объясняются тем, что включение фенилэтильной группы между главной цепью полимера и циннамоильным фрагментом снимает нежелательные стерические препятствия в полимере, снижающие реакционную способность циннамоильных групп в поливинилциннамате [3].
Предыдущая << 1 .. 69 70 71 72 73 74 < 75 > 76 77 78 79 80 81 .. 139 >> Следующая

Авторские права © 2011 BooksOnChemistry. Все права защищены.
Реклама