Главное меню
Главная О сайте Добавить материалы на сайт Поиск по сайту Карта книг Карта сайта
Книги
Аналитическая химия Ароматерапия Биотехнология Биохимия Высокомолекулярная химия Геохимия Гидрохимия Древесина и продукты ее переработки Другое Журналы История химии Каталитическая химия Квантовая химия Лабораторная техника Лекарственные средства Металлургия Молекулярная химия Неорганическая химия Органическая химия Органические синтезы Парфюмерия Пищевые производства Промышленные производства Резиновое и каучуковое производство Синтез органики Справочники Токсикология Фармацевтика Физическая химия Химия материалов Хроматография Экологическая химия Эксперементальная химия Электрохимия Энергетическая химия
Новые книги
Сидельковская Ф.П. "Химия N-вннилпирролидона и его полимеров" ()

Райт П. "Полиуретановые эластомеры" (Высокомолекулярная химия)

Сеидов Н.М. "Новые синтетические каучуки на основе этилена и олефинов" (Высокомолекулярная химия)

Поляков А.В "Полиэтилен высокого давления. Научно-технические основы промышленного синтеза" (Высокомолекулярная химия)

Попова Л.А. "Производство карбамидного утеплителя заливочного типа" (Высокомолекулярная химия)
Книги по химии
booksonchemistry.com -> Добавить материалы на сайт -> Высокомолекулярная химия -> Беднарж Б. -> "Светочувствительные полимерные материалы" -> 82

Светочувствительные полимерные материалы - Беднарж Б.

Беднарж Б., Ельцов А.В., Заковал Я., Краличек Я., Юрре Т.А. Светочувствительные полимерные материалы — Л.: Химия, 1985. — 296 c.
Скачать (прямая ссылка): photopolimers.djvu
Предыдущая << 1 .. 76 77 78 79 80 81 < 82 > 83 84 85 86 87 88 .. 139 >> Следующая

COOR COOR СООН
СН Q^3-
/ ^сн \ 9^3
lm 2 + .)—"Ап->¦ Дальнейший
/ распад А
COOR
COOR
При экспонировании сильно сужается ММР ПММА; для одного из изученных образцов Мш и М„ до облучения составляли 6,85-105 и 3,41-105, после облучения, достаточного для проявления слоя резиста, 1,6-105 и 0,914-105 соответственно [9].
Несмотря на широкое применение, ПММА обладает недостаточной светочувствительностью (0,6—0,9 Дж/см2), низкой адгезией к подложке, малой стойкостью к термическим деформациям, низкой стабильностью при плазменном травлении подложек. Поэтому предлагается сенсибилизировать ПММА [9]. Оказалось, что содержащие грег-бутильные группы бензол, бензойная кислота, фенол, гидрохинон при содержании до 10% (масс.) 4-кратно повышают относительную светочувствительность ПММА. При этом удается достичь разрешения до 0,5 мкм при толщине слоя 0,5 мкм. Одновременно повышается стойкость слоя и к травлению плазмой СР4—02, по-видимому, вследствие сохранения сенсибилизатора в проявленном слое.
178
Наряду с этим разрабатываются различные модификации ПММА. Сополимеры метилметакрилата с метакриловой кислотой обладают повышенной по сравнению с ПММА чувствительностью к УФ-свету, которая может быть еще более увеличена введением в полимер ароматических фрагментов [10а]. Метилметакрилат со-полимеризуют с мономерами, обеспечивающими значительное изменение системы при фотолизе, в частности, с гексафторбутил-метакрилатом. Такой сополимер обладает в несколько раз большей светочувствительностью, чем ПММА, но недостаточно термостоек. С целью создания более термостойкого материала сополимер 94,5 % (мол.) метилметакрилата, 5 % (мол.) метакриловой кислоты и 0,5 % (мол.) ее хлорангидрида (М.М. 300 000) нагревают в слое субмикронной толщины на подложке до 200 °С и выдерживают в течение 15 мин. При этом выделяется HCl и в сополимере образуются поперечные связи (сшивки) за счет ангидридных фрагментов. При экспонировании эти связи разрушаются, как и С—С-связи основной цепи, что обеспечивает избирательное растворение таких участков в проявителе. Резистный слой из такого материала обладает повышенной светочувствительностью, удовлетворительным контрастом и разрешением [пат. США 3981985, 4276365, 4345020].
Сополимер метакрилонитрила и метакриловой кислоты обладает малой светочувствительностью из-за отсутствия полос в УФ-свете. После термолиза при 130 °С на воздухе его светочувствительность повышается вследствие появления широкой полосы при 246 им у возникших циклических структур. Сополимер обладает свойствами позитивного фоторезиста при экспонировании в коротковолновом УФ-свете и негативного в средней УФ-области [7]. Аналогичная термообработка рекомендована для сополимеров метакриловой кислоты с метил-р-хлоракрилатом и метакрилони-трилом, которые являются и электронорезистами; при этом повышается их светочувствительность и разрешающая способность [пат. США 4414313, 4415653]. По данным пат. Великобритании 1493089, непосредственно на подложке из тонкого слоя ПМАК. при 200 °С и обработке аминами получают резисты — имиды поликислоты.
Как УФ-резисты известны полиглицидилметакрилат и сополимеры глицидилметакрилата и этилакрилата, глицидилметакри-лата и метилметакрилата [10,6]. Электронный спектр последнего сополимера в области коротковолнового УФ-света аналогичен спектру ПММА. Одномикронный слой этого сополимера (Mw = = 5-105) формируют на Si02/Si или фосфоросиликатном стекле из хлорбензольного раствора, сушат при 130°С, экспонируют в атмосфере азота через контактную хромовую маску на кварце; светочувствительность его составляет 0,25 Дж/см2. Проявляют рельеф смесью метилизобутилкетона и метилэтилкетона, выдерживают при 170°С в течение 30 мин в атмосфере азота. При этом, СУДЯ по термограммам, идет сшивание цепей полимера за счет эпоксидных групп, что резко улучшает адгезию и термостабилыюсть
179
рельефа. Он получен с субмикронным разрешением и в этих условиях не деформируется, хорошо выдерживает дальнейшее жидкостное травление ЭЮг и фосфатосиликатного стекла при 21 °С смесью НИ и ЫН4Р (1 : 10), при этом не наблюдается подтравливания. Для рельефа ПММА при термолизе явно виден уход размеров, при травлении НИ он полностью снимается с подложки. Аналогично рельеф ПММА сильно деформируется и на поликристаллическом кремнии при травлении его плазмой СР4 в отличие от устойчивого слоя сополимера глицидилметакрилата и метилметакри-лата [11].
Для повышения светочувствительности ПММА и его аналогов, улучшения других свойств и ускорения обработок в композицию добавляют ИеСЦ [пат. ЧССР 193849], в молекулу полимера вводят различные хромофорные группы. Например, для полимеризации используют а-цианакрилаты спиртов С1—С7 [франц. пат. 2488417], сополимеризуют метилметакрилат с а-хлорметакрилатом или а-цианметакрилатом [пат. ФРГ 3036615; европ. пат. 0048899]. Такой материал обладает повышенной термостойкостью, хорошей контрастностью, по крайней мере в 7 раз большей светочувствительностью, чем ПММА. Кроме того, в алкоксил метакрилата вводят атомы галогена, что обеспечивает при термолизе слоя дополнительное сшивание полимерных цепей [франц. пат. 2366602], а при экспонировании—генерирование алкоксильных и галогенных радикалов [франц. пат. 2339184].
Предыдущая << 1 .. 76 77 78 79 80 81 < 82 > 83 84 85 86 87 88 .. 139 >> Следующая

Авторские права © 2011 BooksOnChemistry. Все права защищены.
Реклама